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Robotik und Automation

Industrieroboter

IWH Serie 1 mit 2-Link-HD-Arm und Serie 1 Grundkörper
IWH Serie 1 mit 2-Link-HD-Arm und Serie 1 Grundkörper
Gelenkarmroboter
isel Germany GmbH
Gelenkarmroboter
T: +/- 0,02 ° | R: +/- 0,02 mm | Z: +/- 0,02 mm
Z: 10", 13", 17", 21" | radial: 10", 12", 14", 16", 20" | theta: 450°
bis zu 3 kg
T: 360°/s - 1500°/s2 | R: 1000 mm/s - 4500 mm/s2 | Z: 450 mm/s - 2000 mm/s2
110 / 230 V AC
RS-232 [DB9] | Ethernet [RJ-45]
ca. 25 – 32 kg
Merkmale Ausgezeichnete bauliche Steifigkeit Höchste Ausfallsicherheit und Präzision Optional oben montiert (TA) oder unten montiert (BA) Kundenspezifische Anpassungen möglich Absolut (digital) oder inkremental Encoder Einfache Anbindung von Prealigner, Linear Track und anderen Peripherien an die Robotersteuerung Optional High-End Controller zum kontrollieren von komplexen Systemen Inklusive Robot Control Center (RCC) ISO 1-reinraumkompatibel Made in Germany
  • IWH Serie 1 mit 2-Link-HD-Arm und Serie 1 Grundkörper
IWH Serie 1 mit 2-Link-Kompaktarm und Serie 1-Grundkörper 7?
IWH Serie 1 mit 2-Link-Kompaktarm und Serie 1-Grundkörper 7?
Gelenkarmroboter
isel Germany GmbH
Gelenkarmroboter
T: +/- 0,02 ° | R: +/- 0,02 mm | Z: +/- 0,02 mm
Z: 7" | radial: 10", 14" | theta: 450°
bis zu 1 kg
T: 360°/s | R: 1.000 mm/s | Z: 450 mm/s
110 / 230 V AC
RS-232 [DB9] | Ethernet [RJ-45]
ca. 19 kg
Merkmale wafer-Handling bis zu 200 mm ausgezeichnete bauliche Steifigkeit und Präzision höchste Ausfallsicherheit optional oben montiert (TA) oder unten montiert (BA) kundenspezifische Anpassungen möglich inkrementelle Encoder einfache Anbindung von Prealigner, Linear Track und anderen Peripherien an die Robotersteuerung inklusive Standard Controller & Software ISO 1-reinraumkompatibel MTBF: >70.000 Betriebsstunden made in Germany
  • IWH Serie 1 mit 2-Link-Kompaktarm und Serie 1-Grundkörper 7?
IWH Serie 1 mit 3-Link-Heavy Duty-Arm und Standard-Grundkörper
IWH Serie 1 mit 3-Link-Heavy Duty-Arm und Standard-Grundkörper
Gelenkarmroboter
isel Germany GmbH
Gelenkarmroboter
T: +/- 0,02 ° | R: +/- 0,02 mm | Z: +/- 0,02 mm
Z: 10", 13", 17", 21" | radial: 16", 21", 24", 28" | theta: 450°
bis zu 3 kg
T: 360°/s - 1500°/s2 | R: 1000 mm/s - 4500 mm/s2 | Z: 450 mm/s - 2000 mm/s2
115 – 230 VAC 50 – 60 Hz | 500 VA (standard) | 550 VA (advanced)
RS-232 [DB9] | Ethernet [RJ-45]
ca. 25 – 32 kg
Merkmale Ausgezeichnete bauliche Steifigkeit Höchste Ausfallsicherheit und Präzision Optional oben montiert (TA) oder unten montiert (BA) Kundenspezifische Anpassungen möglich Absolut (digital) oder inkremental Encoder Einfache Anbindung von Prealigner, Linear Track und anderen Peripherien an die Robotersteuerung Optional High-End Controller zum kontrollieren von komplexen Systemen Inklusive Robot Control Center (RCC) Klasse 1-reinraumkompatibel Made in Germany
  • IWH Serie 1 mit 3-Link-Heavy Duty-Arm und Standard-Grundkörper
IWH SERIE 3 MIT 2-LINK-DUAL-ARM UND SERIE 3-GRUNDKÖRPER
IWH SERIE 3 MIT 2-LINK-DUAL-ARM UND SERIE 3-GRUNDKÖRPER
Gelenkarmroboter
isel Germany GmbH
Gelenkarmroboter
T: +/- 0,02°/s | R: +/- 0,02 mm | Z: +/- 0,02 mm
Z: 7", 10", 13", 15", 17", 21" | radial: 10", 14" | theta: 500
bis zu 1.25 kg (pro arm)
T: 360°/s | R: 1100 mm/s | Z: 425 mm/s
115 – 230 | VAC | 50 – 60 Hz | 500 VA (standard) | 550 VA (advanced)
RS-232 [DB9] | Ethernet [RJ-45]
ca. 25 - 40 kg
- integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige - inklusive Standard oder Advanced Controller & Software - ISO 1-reinraumkompatibel - Made in Germany Merkmale Ausgezeichnete bauliche Steifigkeit Handhabung von Wafern bis zu 300 mm höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit einfache Anbindung eines Linear Track an die Robotersteuerung sehr laufruhig spielfreie Harmonic Drive®-Getriebe Absolut-, Inkrementelle Encoder oder Resolver integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige inklusive Standard oder Advanced Controller & Software ISO 1-reinraumkompatibel MTBF: > 50.000 Betriebstunden made in Germany Lieferzeit: Auf Anfrage
  • IWH SERIE 3 MIT 2-LINK-DUAL-ARM UND SERIE 3-GRUNDKÖRPER
IWH SERIE 3 MIT 2-LINK-HD-PLUS-ARM UND SERIE 3-GRUNDKÖRPER
IWH SERIE 3 MIT 2-LINK-HD-PLUS-ARM UND SERIE 3-GRUNDKÖRPER
Gelenkarmroboter
isel Germany GmbH
Gelenkarmroboter
T: ±0.02° / ±0.03° R: ±0.02 mm Z: ±0.02 mm
Z: 7", 10", 13", 15", 17", 21" radial: 16", 24" theta: 450
bis zu 5 kg
T: 180°/s / 360°/s R: 800 mm/s Z: 425 mm/s
115 – 230 VAC 50 – 60 Hz 500 VA (standard) 550 VA (advanced)
RS-232 [DB9] Ethernet [RJ-45]
ca.: 25 – 40 kg
- höchste Ausfallsicherheit - MTBF: > 50.000 Betriebsstunden - Made in Germany Merkmale ausgezeichnete Struktursteifigkeit und Präzision maximale Zuverlässigkeit optional oben montiert (TA) oder unten montiert (BA) maßgeschneiderte Lösungen absolut- oder Inkrementalgeber nahtlose Integration mit dem Prealigner, linearschiene und andere Peripheriekomponenten inklusive Standard oder Advanced Controller & Software steuerung und Software reinraum ISO 1 umweltverträglich MTBF: 70.000 Betriebsstunden
  • IWH SERIE 3 MIT 2-LINK-HD-PLUS-ARM UND SERIE 3-GRUNDKÖRPER
IWH SERIE SHD (SHD-DUAL-ARM UND SERIE SHD GRUNDKÖRPER)
IWH SERIE SHD (SHD-DUAL-ARM UND SERIE SHD GRUNDKÖRPER)
Gelenkarmroboter
isel Germany GmbH
Gelenkarmroboter
T: +/- 0,02°/s | R: +/- 0,02 mm | Z: +/- 0,02 mm
Z: 13", 15" radial: 14" theta: 450°
bis zu 3 kg / Arm
T: 250°/s R: 800 mm/s Z: 300 mm/s
110 / 230 V AC
RS-232 [DB9] Ethernet [RJ-45]
ca. 60 kg
höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige inklusive Advanced Controller & Software Merkmale Handhabung von Wafern bis zu 450 mm höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit einfache Anbindung eines Linear Track an die Robotersteuerung sehr laufruhig spielfreie Harmonic Drive®-Getriebe Absolut- Encoder integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige inklusive Advanced Controller & Software MTBF: > 50.000 Betriebstunden made in Germany Lieferzeit: Auf Anfrage
  • IWH SERIE SHD (SHD-DUAL-ARM UND SERIE SHD GRUNDKÖRPER)
LINEAREINHEITEN - Serie ILD mit Linearmotor
LINEAREINHEITEN - Serie ILD mit Linearmotor
Roboter für andere Anwendungen
isel Germany GmbH
Roboter für andere Anwendungen
±0.01 mm
Direct drive
4.5 m/s
48 m
10 m/s²
Allgemein Um den Aktionsradius des Roboters zu vergrößern, lässt sich das Handlingsystem einfach um eine weitere, vollständig in das System integrierte, Achse erweitern. Je nach Anwendung kann die Montage unterhalb des Waferhandlers oder mit seitlich montiertem Waferhandler ausgeführt werden. Durch die Verwendung von Linearmotoren sind die Linearachsen sehr dynamisch, wartungsarm und laufruhig. Sie erreichen hohe Beschleunigungswerte und Geschwindigkeiten, fahren Positionen sehr präzise an und arbeiten durch den Wegfall mechanischer Verbindungsglieder praktisch verschleißfrei. Durch die Segmentbauweise sind Längen bis 32 Meter mit Absolutwertgeber realisierbar. Die isel-Lineareinheiten der Serie iLD sind auf biegesteifen Aluminiumprofilen aufgebaut. Die Führungen bestehen aus bewährten Profilführungsschienen und Wellenschlitten mit Kugelumlauf. Ebenso integriert ist das magnetische Längenmesssystem. isel-Linearmotoreinheiten haben in diesem Bereich den Vorteil hoher Beschleunigungen und Verfahrgeschwindigkeiten. Die eisenbehafteten Linearmotoren können sehr hohe Dauerkräfte erreichen. Eine optional lieferbare integrierte Bremse ermöglicht den Einsatz der iLD auch in vertiklaler Anordnung. Durch das Konzept "made by isel" kann ein optimales Preis-/Leistungsverhältnis geboten werden, was für Sie als Kunde sehr kurze Amortisationszeiten bedeutet. Merkmale - Maximale Geschwindigkeit bis zu 4.5 m/s - Maximale Beschleunigung bis zu 10 m/s ² - Verlängerbar bis zu 15m Verfahrweg - Optional seitlich oder von unten montiert - Hohe strukturielle Steifigkeit -Robuste Ausführung in Industriequalität - Einfache Verbindung zur Robotersteuerung - Antrieb durch Linearmotor - Verschleißfrei - Multi-Motor-Betrieb - Wartungsarm - Made in Germany
  • LINEAREINHEITEN - Serie ILD mit Linearmotor
Produktdetails Zur Webpräsenz Datenblatt Produktanfrage
Hard-und-Software Advanced
Hard-und-Software Advanced
Roboter für andere Anwendungen
isel Germany GmbH
Roboter für andere Anwendungen
Hard-und-Software Advanced
Hardware Der Advanced Controller basiert auf einer Bahnsteuerung, mit integrierter Sicherheits- SPS, die dem neuesten Stand der Technik entspricht. Der Bahnmodus ermöglicht die Vorgabe einer konstanten, sowie maximalen Geschwindigkeit am TCP, was zusätzliche Sicherheit im Umgang mit dem Substrat garantiert. Der Controller arbeitet intern mit dem Powerlink Echtzeit Bus System, was die Perfomance nochmals steigert. Die unterstützte Hochvolttechnik bietet bei Verwendung einer zusätzlichen Linearmotorachse ein sehr dynamisches Verhalten. Der Controller erfüllt u.a. die aktuellsten internationalen Normen für Industrieroboter. Der Anschluss des ergonomischen Teach Pendants mit grafischer Bedienoberfläche, den benötigten Funktionen für sicheren Einrichtbetrieb, sowie Handradbetrieb ist bereits vorbereitet. Software Die auf der Steuerung integrierte Bedienoberfläche, lässt sich auf jedem PC mit einem VNC Viewer darstellen. Sie bietet eine Innovative und intuitive grafische Benutzeroberfläche zum Einrichten und Verwalten aller Funktionen, sowie ein Diagnose und Optimierungs - Tool. Die Besonderheiten der Advanced Hard- & Software liegen darin, dass es sich hierbei um eine isel eigene Entwicklung handelt und somit die Weiterentwicklung und das Know How komplett bei isel liegen. Merkmale Innovative Bedienoberfläche Leistungsstarke Steuerungselektronik "State of the Art" Integrierte Sicherheitssteuerung nach DIN EN ISO 10218-1:2008 Resolver oder EnDat-2.2 Geber möglich Als 19" Einschub- oder Tischgehäuse verfügbar Interface: Ethernet, RS232, IMA
  • Hard-und-Software Advanced
Produktdetails Zur Webpräsenz Datenblatt Produktanfrage
Teach pendant für Advanced-Controller
Teach pendant für Advanced-Controller
Roboter für andere Anwendungen
isel Germany GmbH
Roboter für andere Anwendungen
Merkmale - optimale Unterstützung beim Einrichten eines isel-Waferhandlers mit Advanced Controller -graphische Bedienoberfläche auf einem 6,5" VGA Farbdisplay -ergonomischer Multigriff zum ermüdungsfreien Arbeiten -Handrad für Joggingbetrieb -Zustimmungstaster, Schlüsselschalter und Stopp-Taster für sicheren Handbetrieb (erfüllt EN ISO 13850)
  • Teach pendant für Advanced-Controller
Endeffektoren - Serie IEE
Endeffektoren - Serie IEE
Roboter für andere Anwendungen
isel Germany GmbH
Roboter für andere Anwendungen
Endeffektoren - Serie IEE
Allgemein Endeffektoren sind für das Handling von Wafern konstruiert, wie beispielsweise der Transport von einer Kassette zum Prealigner. Standard iselROBOTIK Endeffektoren sind für Wafer Größen von 2? (50mm) bis 12? (300 mm) als Horse Shoe oder Paddle Variante verfügbar. Die Endeffektoren sind optional mit vielen verschiedenen Kontaktmaterialien wie PTFE, PEEK, VITON, KALREZ usw. lieferbar. Zudem bieten wir zu unseren Standards auch viele Sonderausführungen für ihre speziellen Wafer und Substrate an und konstruieren auch gerne neue Lösungen. Merkmale - ausgezeichnete Struktursteifigkeit und Präzision - maximale Zuverlässigkeit - optional oben montiert (TA) oder unten montiert (BA) - maßgeschneiderte Lösungen - absolut- oder Inkrementalgeber - nahtlose Integration mit dem Prealigner, - linearschiene und andere Peripheriekomponenten - inklusive Standard oder Advanced Controller & Software - steuerung und Software - reinraum ISO 1 umweltverträglich - MTBF: 70.000 Betriebsstunden
  • Endeffektoren - Serie IEE
Einachs Prealigner "EMBEDDED"
Einachs Prealigner
Roboter für andere Anwendungen
isel Germany GmbH
Roboter für andere Anwendungen
Einachs Prealigner "EMBEDDED"
1-Achs Prealigner (Embedded) arbeiten nur in Verbindung mit einem Isel Waferhandler und werden als zusätzlich Achse dem System eingebunden. Da dieser Prealigner über nur eine Achse verfügt (Rotation), werden im ersten Schritt Korrekturwerte zum Zentrieren des Wafers ermittelt und die Notch / Flat ausgerichtet. Im zweiten Schritt korrigiert der Roboter beim Abholen des Wafers den exzentrischen Versatz durch angepasste Stationskoordinaten. Mittels Vakuum zwischen Endeffektor und Prealigner ist der Wafer immer gesichert und wird an der Rückseite berührt. Dieser Prealigner ist eine kosteneffiziente Lösung für Standard Wafer von 45 mm Ø - 470 mm Ø. Merkmale - Ausrichtzeiten kleiner 2,5 Sekunden - Berührungslose Messung mittels LEDund CCD-Sensor - Integrierte Mess-Elektronik -Chuck Load -Wechsel auf eine andere Wafergröße ohne Umbau -Transparente, halbtransparente,gelochte und undurchsichtige Waferausrichtbar -SEMI, Flat und NotchWafer-Spezifikationen -Für Wafergrößen von 3" bis 18" -Anschlussfelder seitlich und von unten lieferbar
  • Einachs Prealigner