XYZ-Doppel-Inspektionsportal für Halbleiter
Kundenspezifisch anpassbar

• Ideal zur automatisierten Inspektion von Wafern / Halbleitern
• Sehr großer Verfahrbereich von 2 x je 720 x 720 x 100 mm
• Erlaubt die Integration von zwei Prozessen gleichzeitig

Dieses Inspektionssystem besteht aus vier Reinraumachsen und ermöglicht die automatisierte Vermessung mehrer Objekte gleichzeitig. Hohe Dynamik und höchste Reproduzierbarkeit werden erreicht. Jeweils eine hochauflösende Kamera bzw. Sensor pro Seite wird relativ zur Probe verfahren um Geometrien zu prüfen, Messungen auszuführen und spezielle Qualitätsmerkmale zu dokumentieren.

Spezifikationen
- Hub: 2 x je 720 x 720 x 100 mm
- je 2x X-Achsen für Scanner / Mikroskope bis 25 kg
- je 2x Y-Achsen für Chucks bis 23 kg / Wafer bis 12" / 300 mm
- Wiederholgenauigkeit: 1.5 – ± 0.3 µm
- Geschwindigkeit: 750 – 1500 mm (XY) / 150 – 300 (Z)
- Max. Last: 150 N (XY) / 200 N (Z)
- Antrieb: Linearmotor (eisenlos), Profilschiene (XY) | Kugelgewindetrieb, AC-Servo (Z)
- Feedback: Linearmesssystem, Motor-Encoder
- Motion Controller: FMC-250/280, ACS, SPS-Integration
- Reinraum Klasse: ISO 2

Kundenspezifische Optionen:
- Prozessanpassung, Probenhalter, Kopf / Sensor
- Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
- Gestell, Schwingungsisolierung, Umhausung, Sicherheitskonzept
- Anschlüsse für Absaugung und umlaufende Bandabdeckungen
- Erweiterung der Freiheitsgrade für XYZ-Rx-Ry-Rz Bewegungen
- Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe