Steinmeyer
Produkte
8
August Steinmeyer GmbH & Co. KG
Positioniersysteme
4-Achs-Positioniersystem
XYZ-Doppel-Inspektionsportal für Halbleiter
Kundenspezifisch anpassbar
• Ideal zur automatisierten Inspektion von Wafern / Halbleitern
• Sehr großer Verfahrbereich von 2 x je 720 x 720 x 100 mm
• Erlaubt die Integration von zwei Prozessen gleichzeitig
Dieses Inspektionssystem besteht aus vier Reinraumachsen und ermöglicht die automatisierte Vermessung mehrer Objekte gleichzeitig. Hohe Dynamik und höchste Reproduzierbarkeit werden erreicht. Jeweils eine hochauflösende Kamera bzw. Sensor pro Seite wird relativ zur Probe verfahren um Geometrien zu prüfen, Messungen auszuführen und spezielle Qualitätsmerkmale zu dokumentieren.
Spezifikationen
- Hub: 2 x je 720 x 720 x 100 mm
- je 2x X-Achsen für Scanner / Mikroskope bis 25 kg
- je 2x Y-Achsen für Chucks bis 23 kg / Wafer bis 12" / 300 mm
- Wiederholgenauigkeit: 1.5 – ± 0.3 µm
- Geschwindigkeit: 750 – 1500 mm (XY) / 150 – 300 (Z)
- Max. Last: 150 N (XY) / 200 N (Z)
- Antrieb: Linearmotor (eisenlos), Profilschiene (XY) | Kugelgewindetrieb, AC-Servo (Z)
- Feedback: Linearmesssystem, Motor-Encoder
- Motion Controller: FMC-250/280, ACS, SPS-Integration
- Reinraum Klasse: ISO 2
Kundenspezifische Optionen:
- Prozessanpassung, Probenhalter, Kopf / Sensor
- Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
- Gestell, Schwingungsisolierung, Umhausung, Sicherheitskonzept
- Anschlüsse für Absaugung und umlaufende Bandabdeckungen
- Erweiterung der Freiheitsgrade für XYZ-Rx-Ry-Rz Bewegungen
- Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe
Kundenspezifisch anpassbar
• Ideal zur automatisierten Inspektion von Wafern / Halbleitern
• Sehr großer Verfahrbereich von 2 x je 720 x 720 x 100 mm
• Erlaubt die Integration von zwei Prozessen gleichzeitig
Dieses Inspektionssystem besteht aus vier Reinraumachsen und ermöglicht die automatisierte Vermessung mehrer Objekte gleichzeitig. Hohe Dynamik und höchste Reproduzierbarkeit werden erreicht. Jeweils eine hochauflösende Kamera bzw. Sensor pro Seite wird relativ zur Probe verfahren um Geometrien zu prüfen, Messungen auszuführen und spezielle Qualitätsmerkmale zu dokumentieren.
Spezifikationen
- Hub: 2 x je 720 x 720 x 100 mm
- je 2x X-Achsen für Scanner / Mikroskope bis 25 kg
- je 2x Y-Achsen für Chucks bis 23 kg / Wafer bis 12" / 300 mm
- Wiederholgenauigkeit: 1.5 – ± 0.3 µm
- Geschwindigkeit: 750 – 1500 mm (XY) / 150 – 300 (Z)
- Max. Last: 150 N (XY) / 200 N (Z)
- Antrieb: Linearmotor (eisenlos), Profilschiene (XY) | Kugelgewindetrieb, AC-Servo (Z)
- Feedback: Linearmesssystem, Motor-Encoder
- Motion Controller: FMC-250/280, ACS, SPS-Integration
- Reinraum Klasse: ISO 2
Kundenspezifische Optionen:
- Prozessanpassung, Probenhalter, Kopf / Sensor
- Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
- Gestell, Schwingungsisolierung, Umhausung, Sicherheitskonzept
- Anschlüsse für Absaugung und umlaufende Bandabdeckungen
- Erweiterung der Freiheitsgrade für XYZ-Rx-Ry-Rz Bewegungen
- Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe
8-Achs-Positioniersystem
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Positioniersystem
August Steinmeyer GmbH & Co. KG
Positioniersysteme
8-Achs-Positioniersystem / Goniometer
Kundenspezifisch anpassbar
• Automatisierte 8-Achs-Inspektion aus verschiedenen Winkeln
• Koaxiales Drehsystem, welches die Kameras / Sensoren / Beleuchtung um einen gemeinsamen Mittelpunkt schwenkt
• Ideal zur Inspektion von Displays
Dieses 8-achs-Positioniersystem ermöglicht es, verschiedene Probengeometrien und sonstige Teile zu analysieren und inspizieren. Beide Kameras / Sensoren können über der Probe geschwenkt und in der Höhe verstellt werden. Zusätzlich kann der Probenträger durch Kippen parallel zur Messfläche aufgerichtet werden, um Unterschiede zwischen den einzelnen Prüflingen auszugleichen. Durch die XY Rz Positionierung kann die Probe durch die kundenspezifische Kamera aus jedem Winkel im räumlichen Abstrahlungsverhalten beurteilt werden.
Spezifikationen
- Hub: 3° x 3° x 365° x 365 mm x 100 mm x 100 mm x 230 mm x 45° x 45°
- Wiederholgenauigkeit: 0.005 - 0.007° / 2 - 4.4 µm
- Geschwindigkeit: 10 – 60 mm/s
- Max. Last: 50 - 250 N
- Antrieb: mauell, Riemen (Rxj, Ryj) / Schrittmotor, Kugelgewindetrieb (XYZ) / Schrittmotor, Riemen (Ry1, Ry2)
- Motion Controller: FMC400/450, ACS, SPS-Integration
Kundenspezifische Optionen:
- Prozessanpassung, Probenhalter, Kopf / Sensor
- Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
- Gestell, Schwingungsisolierung, Umhausung, Sicherheitskonzept
- Anschlüsse für Absaugung und umlaufende Bandabdeckungen
- Erweiterung der Freiheitsgrade für XYZ-Rx-Ry-Rz Bewegungen
- Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe
Kundenspezifisch anpassbar
• Automatisierte 8-Achs-Inspektion aus verschiedenen Winkeln
• Koaxiales Drehsystem, welches die Kameras / Sensoren / Beleuchtung um einen gemeinsamen Mittelpunkt schwenkt
• Ideal zur Inspektion von Displays
Dieses 8-achs-Positioniersystem ermöglicht es, verschiedene Probengeometrien und sonstige Teile zu analysieren und inspizieren. Beide Kameras / Sensoren können über der Probe geschwenkt und in der Höhe verstellt werden. Zusätzlich kann der Probenträger durch Kippen parallel zur Messfläche aufgerichtet werden, um Unterschiede zwischen den einzelnen Prüflingen auszugleichen. Durch die XY Rz Positionierung kann die Probe durch die kundenspezifische Kamera aus jedem Winkel im räumlichen Abstrahlungsverhalten beurteilt werden.
Spezifikationen
- Hub: 3° x 3° x 365° x 365 mm x 100 mm x 100 mm x 230 mm x 45° x 45°
- Wiederholgenauigkeit: 0.005 - 0.007° / 2 - 4.4 µm
- Geschwindigkeit: 10 – 60 mm/s
- Max. Last: 50 - 250 N
- Antrieb: mauell, Riemen (Rxj, Ryj) / Schrittmotor, Kugelgewindetrieb (XYZ) / Schrittmotor, Riemen (Ry1, Ry2)
- Motion Controller: FMC400/450, ACS, SPS-Integration
Kundenspezifische Optionen:
- Prozessanpassung, Probenhalter, Kopf / Sensor
- Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
- Gestell, Schwingungsisolierung, Umhausung, Sicherheitskonzept
- Anschlüsse für Absaugung und umlaufende Bandabdeckungen
- Erweiterung der Freiheitsgrade für XYZ-Rx-Ry-Rz Bewegungen
- Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe
XYZ-Positioniersystem
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Positioniersystem
August Steinmeyer GmbH & Co. KG
Positioniersysteme
XYZ Gantry für hochdynamische Anwendungen
Kundenspezifisch anpassbar
• Ideal für hochpräzise und dynamische Anwendungen
• Sehr großer Verfahrbereich von 1300 x 800 x 200 mm
• Hohe Beschleunigungen und Geschwindigkeiten kombiniert mit hoher Präzision
Dieses Gantry ermöglicht hochdynamische Bewegungen über eine Fläche von 1300 x 800 mm. Der kundenspezifische Bearbeitungskopf bzw. Sensor an Z-Achse bewegt sich schnell, gleichmäßig über die Träger auf dem Granit. Die Profilschienenführungen sind direkt auf dem Granit befestigt, um optimale Ablaufeigenschaften für enorm wiederholbare Ergebnisse im Submikrometerbereich zu erreichen.
Spezifikationen
- Hub: 800 x 1300 x 200 mm
- Wiederholgenauigkeit: 1 – 0.7 µm
- Geschwindigkeit: 500 - 1000 mm (XY) / 50 – 100 (Z)
- Max. Last: 150 N (Z)
- Antrieb: Linearmotor, Profilschiene (XY) | Kugelgewindetrieb, AC-Servo (Z)
- Feedback: Linearmesssystem
- Motion Controller: FMC-Serie, ACS, SPS-Integration
Kundenspezifische Optionen:
- Prozessanpassung, Probenhalter, Kopf / Sensor
- Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
- Gestell, Schwingungsisolierung, Umhausung, Sicherheitskonzept
- Erweiterung der Freiheitsgrade für XYZ-Rx-Ry-Rz Bewegungen
- Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe
Kundenspezifisch anpassbar
• Ideal für hochpräzise und dynamische Anwendungen
• Sehr großer Verfahrbereich von 1300 x 800 x 200 mm
• Hohe Beschleunigungen und Geschwindigkeiten kombiniert mit hoher Präzision
Dieses Gantry ermöglicht hochdynamische Bewegungen über eine Fläche von 1300 x 800 mm. Der kundenspezifische Bearbeitungskopf bzw. Sensor an Z-Achse bewegt sich schnell, gleichmäßig über die Träger auf dem Granit. Die Profilschienenführungen sind direkt auf dem Granit befestigt, um optimale Ablaufeigenschaften für enorm wiederholbare Ergebnisse im Submikrometerbereich zu erreichen.
Spezifikationen
- Hub: 800 x 1300 x 200 mm
- Wiederholgenauigkeit: 1 – 0.7 µm
- Geschwindigkeit: 500 - 1000 mm (XY) / 50 – 100 (Z)
- Max. Last: 150 N (Z)
- Antrieb: Linearmotor, Profilschiene (XY) | Kugelgewindetrieb, AC-Servo (Z)
- Feedback: Linearmesssystem
- Motion Controller: FMC-Serie, ACS, SPS-Integration
Kundenspezifische Optionen:
- Prozessanpassung, Probenhalter, Kopf / Sensor
- Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
- Gestell, Schwingungsisolierung, Umhausung, Sicherheitskonzept
- Erweiterung der Freiheitsgrade für XYZ-Rx-Ry-Rz Bewegungen
- Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe
