CHARON2 ist ein neues, halbleiterorientiertes XY gestapelltes System, welches rückwärts kompatibel ist mit bestehenden Modulen und Optionen. Das Design von CHARON2 erweitert die CHARON Anwendungsfälle im Bereich höherer Dynamiken und Nutzlasten, mit weiterer Verbesserung bei Genauigkeit und Reproduzierbarkeit. Das System überschreitet 1g Beschleunigung und 1m/s Geschwindigkeit bei doppelter Nutzlast, während es eine absolute Positioniergenauigkeit unter 1 µm liefert. CHARON2 repräsentiert ein schlüsselfertiges Bewegungssystem für neue "State of the art" Halbleiter-Anwendungen und Intiativen zur Verlängerung der Lebensdauer.
CHARON2 ist ein weiteres perfektes Beispiel von ETELs vertikaler Integration, basierend auf firmeneigenen IP für Motoren, Elektronik und Steuerungs-Know-how sowie der Synergie mit HEIDENHAIN hinsichtlich präziser weltklasse Positionsmessgeräte. Das Ergebnis ist eine große Familie von Lösungen, die jegliche OEM Wafer bezogene Positionieranforderung, Prozess oder Prozesssteuerung bedient, und reicht von einem XY- Kernstück bis hin zu einem kompletten System bestehend aus bis zu 9 Achsen, die unabhängig gesteuert werden können.
CHARON2 stammt ab von erwarteten, angepassten OEM Anforderungen, die umgehend erfüllt wurden mit einem weiteren optimierten Produkt, welches die OEM Integrationskosten und den Markteinführungsaufwand reduzierte.
Eigenschaften
- Gesamthub : bis zu 650 mm x 410 mm
- ISO 2 Reinraum kompatibel
Hauptspezifikationen
| Beschreibung | X (unten) | Y (oben) | Theta |
| Positionsgenauigkeit | ±1 µm | ±1 µm | ±3 arcsec |
| Positionsstabilität | ±2 nm | ±2 nm | ±0.02 arcsec |
| Bidirektionale Wiederholgenauigkeit | ±0.4 µm | ±0.4 µm | ±2 arcsec |
| Max. Nutzlast | 30 kg |
Für mehr Informationen fragen Sie nach dem dazugehörigen Integrationshandbuch.
| CHARON2 XY 0475 x 0410 | Datenblatt (pdf) | Schnittstellenbezeichnung (pdf) | Auf Anfrage |
| CHARON2 XYT (DXR+) 0475 x 0410 | Datenblatt (pdf) | Schnittstellenbezeichnung (pdf) | Auf Anfrage |
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