Allgemein Endeffektoren sind für das Handling von Wafern konstruiert, wie beispielsweise der Transport von einer Kassette zum Prealigner. Standard iselROBOTIK Endeffektoren sind für Wafer Größen von 2? (50mm) bis 12? (300 mm) als Horse Shoe oder Paddle Variante verfügbar. Die Endeffektoren sind optional mit vielen verschiedenen Kontaktmaterialien wie PTFE, PEEK, VITON, KALREZ usw. lieferbar. Zudem bieten wir zu unseren Standards auch viele Sonderausführungen für ihre speziellen Wafer und Substrate an und konstruieren auch gerne neue Lösungen. Merkmale - ausgezeichnete Struktursteifigkeit und Präzision - maximale Zuverlässigkeit - optional oben montiert (TA) oder unten montiert (BA) - maßgeschneiderte Lösungen - absolut- oder Inkrementalgeber - nahtlose Integration mit dem Prealigner, - linearschiene und andere Peripheriekomponenten - inklusive Standard oder Advanced Controller & Software - steuerung und Software - reinraum ISO 1 umweltverträglich - MTBF: 70.000 Betriebsstunden