Allgemein

Um den Aktionsradius des Roboters zu vergrößern, lässt sich das Handlingsystem einfach um eine weitere, vollständig in das System integrierte, Achse erweitern. Je nach Anwendung kann die Montage unterhalb des Waferhandlers oder mit seitlich montiertem Waferhandler ausgeführt werden. Durch die Verwendung von Linearmotoren sind die Linearachsen sehr dynamisch, wartungsarm und laufruhig. Sie erreichen hohe Beschleunigungswerte und Geschwindigkeiten, fahren Positionen sehr präzise an und arbeiten durch den Wegfall mechanischer Verbindungsglieder praktisch verschleißfrei. Durch die Segmentbauweise sind Längen bis 32 Meter mit Absolutwertgeber realisierbar.


Die isel-Lineareinheiten der Serie iLD sind auf biegesteifen Aluminiumprofilen aufgebaut. Die Führungen bestehen aus bewährten Profilführungsschienen und Wellenschlitten mit Kugelumlauf. Ebenso integriert ist das magnetische Längenmesssystem. isel-Linearmotoreinheiten haben in diesem Bereich den Vorteil hoher Beschleunigungen und Verfahrgeschwindigkeiten. Die eisenbehafteten Linearmotoren können sehr hohe Dauerkräfte erreichen. Eine optional lieferbare integrierte Bremse ermöglicht den Einsatz der iLD auch in vertiklaler Anordnung. Durch das Konzept "made by isel" kann ein optimales Preis-/Leistungsverhältnis geboten werden, was für Sie als Kunde sehr kurze Amortisationszeiten bedeutet.


Merkmale

- Maximale Geschwindigkeit bis zu 4.5 m/s
- Maximale Beschleunigung bis zu 10 m/s ²
- Verlängerbar bis zu 15m Verfahrweg
- Optional seitlich oder von unten montiert
- Hohe strukturielle Steifigkeit
-Robuste Ausführung in Industriequalität
- Einfache Verbindung zur Robotersteuerung
- Antrieb durch Linearmotor
- Verschleißfrei
- Multi-Motor-Betrieb
- Wartungsarm
- Made in Germany

Hardware

Der Advanced Controller basiert auf einer Bahnsteuerung, mit integrierter Sicherheits- SPS, die dem neuesten Stand der Technik entspricht. Der Bahnmodus ermöglicht die Vorgabe einer konstanten, sowie maximalen Geschwindigkeit am TCP, was zusätzliche Sicherheit im Umgang mit dem Substrat garantiert. Der Controller arbeitet intern mit dem Powerlink Echtzeit Bus System, was die Perfomance nochmals steigert. Die unterstützte Hochvolttechnik bietet bei Verwendung einer zusätzlichen Linearmotorachse ein sehr dynamisches Verhalten. Der Controller erfüllt u.a. die aktuellsten internationalen Normen für Industrieroboter. Der Anschluss des ergonomischen Teach Pendants mit grafischer Bedienoberfläche, den benötigten Funktionen für sicheren Einrichtbetrieb, sowie Handradbetrieb ist bereits vorbereitet.


Software

Die auf der Steuerung integrierte Bedienoberfläche, lässt sich auf jedem PC mit einem VNC Viewer darstellen. Sie bietet eine Innovative und intuitive grafische Benutzeroberfläche zum Einrichten und Verwalten aller Funktionen, sowie ein Diagnose und Optimierungs - Tool. Die Besonderheiten der Advanced Hard- & Software liegen darin, dass es sich hierbei um eine isel eigene Entwicklung handelt und somit die Weiterentwicklung und das Know How komplett bei isel liegen.


Merkmale

Innovative Bedienoberfläche
Leistungsstarke Steuerungselektronik "State of the Art"
Integrierte Sicherheitssteuerung nach DIN EN ISO 10218-1:2008
Resolver oder EnDat-2.2 Geber möglich
Als 19" Einschub- oder Tischgehäuse verfügbar
Interface: Ethernet, RS232, IMA

Allgemein

Endeffektoren sind für das Handling von Wafern konstruiert, wie beispielsweise der Transport von einer Kassette zum Prealigner. Standard iselROBOTIK Endeffektoren sind für Wafer Größen von 2? (50mm) bis 12? (300 mm) als Horse Shoe oder Paddle Variante verfügbar. Die Endeffektoren sind optional mit vielen verschiedenen Kontaktmaterialien wie PTFE, PEEK, VITON, KALREZ usw. lieferbar. Zudem bieten wir zu unseren Standards auch viele Sonderausführungen für ihre speziellen Wafer und Substrate an und konstruieren auch gerne neue Lösungen.

Merkmale

- ausgezeichnete Struktursteifigkeit und Präzision
- maximale Zuverlässigkeit
- optional oben montiert (TA) oder unten montiert (BA)
- maßgeschneiderte Lösungen
- absolut- oder Inkrementalgeber
- nahtlose Integration mit dem Prealigner,
- linearschiene und andere Peripheriekomponenten
- inklusive Standard oder Advanced Controller & Software
- steuerung und Software
- reinraum ISO 1 umweltverträglich
- MTBF: 70.000 Betriebsstunden

1-Achs Prealigner (Embedded) arbeiten nur in Verbindung mit einem Isel Waferhandler und werden als zusätzlich Achse dem System eingebunden. Da dieser Prealigner über nur eine Achse verfügt (Rotation), werden im ersten Schritt Korrekturwerte zum Zentrieren des Wafers ermittelt und die Notch / Flat ausgerichtet. Im zweiten Schritt korrigiert der Roboter beim Abholen des Wafers den exzentrischen Versatz durch angepasste Stationskoordinaten. Mittels Vakuum zwischen Endeffektor und Prealigner ist der Wafer immer gesichert und wird an der Rückseite berührt. Dieser Prealigner ist eine kosteneffiziente Lösung für Standard Wafer von 45 mm Ø - 470 mm Ø.


Merkmale

- Ausrichtzeiten kleiner 2,5 Sekunden
- Berührungslose Messung mittels LEDund CCD-Sensor
- Integrierte Mess-Elektronik
-Chuck Load
-Wechsel auf eine andere Wafergröße ohne Umbau
-Transparente, halbtransparente,gelochte und undurchsichtige Waferausrichtbar
-SEMI, Flat und NotchWafer-Spezifikationen
-Für Wafergrößen von 3" bis 18"
-Anschlussfelder seitlich und von unten lieferbar