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WASSERMANN-TECHNOLOGIE Blog

Besondere Stärken für starke Branchen

Deutscher Zukunftspreis für EUV-Lithografie

Dezember 2020
01
Autor: SebastianAuth
Firma: WASSERMANN TECHNOLOGIE GmbH
Deutscher Zukunftspreis für EUV-Lithografie

WASSERMANN TECHNOLOGIE GmbH beglückwünscht ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology, TRUMPF und Fraunhofer IOF zum Gewinn des Deutschen Zukunftspreis 2020!

 

Wir sind stolz ein Teil der Lieferkette für die EUV – Lithografie zu sein!

 

https://www.zdf.de/nachrichten/politik/zukunftspreis-2020-100.html

 

Bundespräsident Frank-Walter Steinmeier hat am Abend den mit 250.000 Euro dotierten Zukunftspreis, eine renommierte Auszeichnung für durchschlagende Forschungsneuerungen in Naturwissenschaft und Technik, verliehen.

 

Preisträger 2020 sind Dr. Peter Kürz und sein Forschungsteam aus Oberkochen in Baden-Württemberg. Die Wissenschaftler entwickelten ein neues optisches System, das die Chip-Herstellung revolutioniert. Um heutzutage den Bedarf an Daten zu stillen - bei Smart-Homes, Hochleistungsrobotern oder autonomen Fahrzeugen - bedarf es leistungsstarker Mikrochips.

Das Team hat eine Technologie ausgearbeitet, mit der sich mikroelektronische Bauteile mit extrem feinen Strukturen fertigen lassen. Sie machten die Methode der optischen Lithografie fit für die Nutzung von extremem UV-Licht, dem sogenannten EUV. Die neuartige EUV-Lithografie kann im Gegensatz zur bisher etablierten Lithografie in viel winzigeren Dimensionen arbeiten, etwa in der Größenordnung von wenigen Nanometern. Das entspricht einem Zehntausendstel der Dicke eines menschlichen Haars.

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