Aufrechtes Mikroskop zur Untersuchung großer Proben – automatisiert und reinraumkompatibel Analysieren Sie zerstörungsfrei kleinste MEMS-Sensoren bis zu XXL Wafern oder sogar ganze Flachbildschirme. Dank einer möglichen Probenhöhe bis 254 mm und einem seitlichen Abstand bis 300 mm können Sie mit Axio Imager Vario ein maximal großes Probenspektrum untersuchen. Das Säulendesign bietet hohe Stabilität. Kontrollieren Sie Ihre Wafer im Reinraum – Axio Imager Vario ist nach DIN EN ISO 14644-1 zertifiziert und entspricht den Anforderungen von Klasse 5. Ein motorisierter Z-Trieb zusätzlich zum Hardware Auto Focus sorgt für die automatische Einstellung der optimalen Fokusposition. - Maximale Probenhöhe bis 254 mm und - Seitlicher Abstand von 300 mm x 300 mm. - Zertifiziert nach DIN EN ISO 14644-1, entspricht den Anforderungen der Reinraumklasse 5