attocube

attocube hat mit dem hexaCUBE ein hochintegriertes 6D Aktoriksystem entwickelt, das anspruchsvollste multiaxiale Positionieraufgaben mit unübertroffener Präzision erfüllt. Der hexaCUBE bietet ein äußerst günstiges Verhältnis von Aktionsvolumen zu Bauraum und eröffnet neue Anwendungen in der Mikrofertigungstechnik und Präzisionsbearbeitung, der Optik und Halbleiterindustrie sowie in diversen Forschungsbereichen. Durch die geschickte Anordnung von sechs piezoelektrischen Verstellmotoren bietet der hexaCUBE - gemessen an seinem Bauraum - außergewöhnlich große Verfahrwege bei bislang unerreichter Wiederholgenauigkeit. Die hohe mechanische Steifigkeit, das extrem kompakte Design, sowie die 1“ große Apertur in der Probenplattform ermöglichen eine flexible Einsetzbarkeit und ein breites Anwendungsfeld – sowohl hinsichtlich des Probengewichts (max. 700g) - als auch bezüglich optischen Messungen in Transmission.

attocube bietet mit der ‚Industrial Line‘ kostengünstige, piezo-basierte und äußerst robuste Kompaktmotoren an, die höchsten Ansprüchen an Genauigkeit und Stabilität genügen. Die kompakten Antriebe finden unter anderem in der Mikro- und Feinwerktechnik sowie im Sondermaschinenbau Einsatz und werden z.B. zur nanometergenauen Positionierung von mechanischen Bauteilen und Optiken eingesetzt. Das Portfolio bietet eine breite Palette linearer, goniometrischer und rotativer Motoren. Diese können sowohl einzeln eingesetzt, als auch aufeinander montiert werden, und bieten damit Flexibilität in bis zu 6 Bewegungsachsen. Alle Positionierer sind mit integrierten Führungen ausgestattet und garantieren höchste mechanische Belastbarkeit – je nach Modell bis zu 20 kg. Dank äußerst geringer Winkelfehler von nur 0.1 mrad (Kipp-, Neige- und Gierwinkel) können die ECS-Kompaktmotoren für höchstanspruchsvolle Positionierungsaufgaben angewandt werden.

Das ultrapräzise Interferometer attoFPS zählt zu den Top-Innovationen der Branche. Die neuartige Sensorik ermöglicht Messungen von Positionsveränderungen und Vibrations-amplituden im Sub-Nanometer-Bereich. Durch die durchdachte Technologie können Positionsabweichungen von bis zu drei Objekten bei Arbeitsabständen von bis zu 1 m simultan erfasst werden. Auch Werte wie Winkelversatz und/oder Kippung können höchstpräzise bestimmt werden. Im Gegensatz zu bisherigen Sensoren beruht das Design des attoFPSensors auf einem glasfaserbasierten Konzept, welches die Größe der Sensorköpfe auf wenige Millimeter Durchmesser reduziert und das Gerät selbst bei Temperaturen von -250° C bis +150° C zuverlässig arbeiten lässt. Trotz der hohen Sensitivität kann der Messkopf Bewegungen von Objekten, die sich mit einer Geschwindigkeit von bis zu 2m/s bewegen, absolut präzise verfolgen. Vibrationsmessungen an Bauteilen und Werkzeugen sind so bis zu 1MHz Bandbreite problemlos möglich.

Das ultrapräzise Interferometer attoFPS zählt zu den Top-Innovationen der Branche. Die neuartige Sensorik ermöglicht Messungen von Positionsveränderungen und Vibrations-amplituden im Sub-Nanometer-Bereich. Durch die durchdachte Technologie können Positionsabweichungen von bis zu drei Objekten bei Arbeitsabständen von bis zu 1 m simultan erfasst werden. Auch Werte wie Winkelversatz und/oder Kippung können höchstpräzise bestimmt werden. Im Gegensatz zu bisherigen Sensoren beruht das Design des attoFPSensors auf einem glasfaserbasierten Konzept, welches die Größe der Sensorköpfe auf wenige Millimeter Durchmesser reduziert und das Gerät selbst bei Temperaturen von -250° C bis +150° C zuverlässig arbeiten lässt. Trotz der hohen Sensitivität kann der Messkopf Bewegungen von Objekten, die sich mit einer Geschwindigkeit von bis zu 2m/s bewegen, absolut präzise verfolgen. Vibrationsmessungen an Bauteilen und Werkzeugen sind so bis zu 1MHz Bandbreite problemlos möglich.