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ETEL S.A.

Produkte
CHARON2 STACKED SYSTEM
CHARON2 STACKED SYSTEM
Positioniersystem
ETEL S.A.
Positioniersysteme
CHARON2 STACKED SYSTEM
CHARON2 stacked system
CHARON2 is a new semiconductor-oriented XY stacked system, backward compatible with existing modules and options. CHARON2 design extends CHARON use cases into the space of higher dynamics and larger payloads, with further improvement on accuracy and repeatability. Exceeding 1g acceleration and 1 m/s speed at doubled payload, while delivering an absolute positioning accuracy below 1 µm, CHARON2 represents a turnkey motion solution for state of the art new semiconductor applications and lifetime extension initiatives.

CHARON2 remains another perfect example of ETEL vertical integration, based on proprietary IP for motors, electronics and controlling know-how, and synergy with HEIDENHAIN when relating to world-class positioning accuracy feedback. The result is a broad family of solutions serving any OEM wafer-positioning needs, process or process-control related, and ranging from a core XY to a complete system of up to 9 axes, independently controlled.

CHARON2 stems from anticipated, aligned, OEM requirements immediately fulfilled with another optimized product, reducing EOM integration costs and time-to-market efforts.

Characteristics
- Total stroke : up to 650 mm x 410 mm
- ISO 2 clean room compatible
  • CHARON2 STACKED SYSTEM
  • CHARON2 STACKED SYSTEM
TELICA DUAL GANTRY MOTION SYSTEM
TELICA DUAL GANTRY MOTION SYSTEM
Positioniersystem
ETEL S.A.
Positioniersysteme
TELICA ist eine mehrachsige Plattform, die sich hauptsächlich auf Halbleiter-Backend-Anwendungen konzentriert. Seine duale Portalarchitektur ermöglicht Bewegungen entlang von 3 Freiheitsgraden, X, Y und Z, für eine Gesamtzahl von 8 gesteuerten Achsen. Es wurde entwickelt, um die anspruchsvollsten Anforderungen fortschrittlicher Die-Bonding-Prozesse (Flip-Chip, Fan-out, 3D-Stapelgehäuse), µ-LED-Bonden, Dosieranwendungen und mehr zu erfüllen.

Konventionelle Bewegungssystemarchitekturen sind durch ihr Design IMMER auf hohe Positioniergenauigkeit oder hohen Durchsatz optimiert. Dank einer sehr innovativen Bewegungssystemarchitektur erfüllt TELICA BEIDE SIMULTAN mit ±1 µm globaler Platzierungsgenauigkeit (Blindbewegung) bei einem Durchsatz von 10 kUPH für eine typische Flip-Chip-Die-Bonding-Anwendung und bis zu 180 kUPH für µ-LED-Bonding.



TELICA Doppelportal-Bewegungssystem
TELICA ist in zwei Standardvarianten erhältlich: Variante 1 für Wafer Level Packages (WLP) mit X410 x Y445 x Z30 mm Verfahrwegen und Variante 2 für Panel Level Packages (PLP) mit X750 x Y800 x Z30 mm Verfahrwegen.

TELICA stellt einen neuen metrologischen Ansatz vor, der die Abbé-Fehler sowie die relative Positionsabweichung zwischen Prozesswerkzeug und Substrat drastisch reduziert. Mehrdimensionale Drehgeber sorgen für die hohe Positioniergenauigkeit, während wassergekühlte Eisenkernmotoren extreme Betriebszyklen ermöglichen.

In Verbindung mit den hochmodernen AccurET-Steuerungen von ETEL profitiert die TELICA-Plattform von mehreren Steuerungsfunktionen wie: Nullstellzeit, nichtlineare Steuerung, fortschrittliche Vorwärts- und Trajektorienfilter, vollständige Synchronisation aller Achsen mit Nanosekunden-Jitter, ein spezifischer Gantry-Steuerungsalgorithmus, multidimensionales Mapping, erweiterte Triggerfunktionen basierend auf der realen gemappten Position, fortschrittliche Softwarediagnose und Systemidentifikationswerkzeuge zur Steuerungsoptimierung.

Hauptspezifikationen
±350 nm lokale Platzierungsgenauigkeit (bewegt sich mit lokaler Ausrichtung)
±1 µm globale Platzierungsgenauigkeit (Blindbewegungen)
  • TELICA DUAL GANTRY MOTION SYSTEM
METIS PLANARE PLATTFORM
METIS PLANARE PLATTFORM
Bewegungssysteme
ETEL S.A.
Positioniersysteme
METIS PLANARE PLATTFORM
Diese Plattform, Metis, ist eine planare Hybrid-Plattform, mit mechanischen und Luftlagern, die für Step-and-Scan-Anwendungen konzipiert ist. Es handelt sich um eine 6-Achsen-Plattform, die sich in X-, Y-, Z- und Theta-Richtung bewegt. Dynamische Ebenheit über die gesamte Bahn sowie bidirektionale Wiederholgenauigkeit sind die wichtigsten Parameter. Diese Plattform wird derzeit eingesetzt in:
- Anwendungen in der Wafer-Prozesskontrolle wie Critical Dimension und Dünnschichtmesstechnik.
- Strukturieren von Wafern
- Lasergestütze Wärmebehandlung von Wafern

Sie kann auch in Back-End of Line Lithographie-Maschinen (Mask Aligner) und für einige Wafer-Vereinzelungsanwendungen verwendet werden.

Diese Plattform verfügt über:
- Eine Ebenheit der Bewegung durch das Luftlager
- Unbegrenzte Drehung in Theta
- Doppelte Z-Integration: Grobe Bewegungen zum Be-/Entladen und feine Bewegungen zur Feinfokussierung
- Eingebauter Gewichtsausgleich in Z (Patent angemeldet)
- Die Gierkorrektur kann durch leichtes Verschieben der Y1- und Y2-Motoren durchgeführt werden
- Weitere Integration mit einem vollständig von ETEL gesteuerten Active-Isolation-System möglich
- Hübe in X und Y können mit einigen Beschränkungen hinsichtlich der Leistung auch verlängert werden

Hauptspezifikationen
- Gesamter Hub: 321 mm für XY x 12 mm für Z
- Geschwindigkeit: 1,2 m/s für XY, 0,1 m/s für Z und 15,7 rad/s für T
- Beschleunigung: 1,2 g für XY, 0,2 g für Z und 104,7 rad/s
2 für T
- Positionsstabilität: ±25 nm für XY, ±15 nm für Z und ±0.2 arcsec für T
- Bidirektionale Wiederholgenauigkeit: ±0,4 µm für XY, ±0.3 µm für Z und ±2 arcsec für T

Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.
  • METIS PLANARE PLATTFORM
  • METIS PLANARE PLATTFORM
VULCANO XY GESTAPELTE PLATTFORMEN
VULCANO XY GESTAPELTE PLATTFORMEN
Positioniersystem
ETEL S.A.
Positioniersysteme
Das Vulcano XY ist ein System bestehend aus drei Teilen, welches eine kompakte und kostengünstige Lösung ermöglicht, verbunden mit mechanischen Lagern und hochwertigen optischen Encodern. Die Grundplatte der unteren Achsen (Y1 & Y2) ist aufgebaut aus 2 eisenbehafteten Linearmotoren, die bei Verwendung von AccurET Reglern im Portal (Gantry) Modus gesteuert werden, um eine bessere Wiederholgenauigkeit und optimale Regeleigenschaften zu erzielen. Die obere Achse (X) besteht aus einem einzelnen eisenbehafteten Linearmotor. Der Einsatz von einsenbehafteter Technologie bietet eine hohe Kraftdichte, aus der sich eine hohe Beschleunigung und Geschwindigkeit ergibt, während die Betriebstemperatur eher in einem niedrigeren Bereich bleibt.

Die Grundplatte der oberen Achse (X), welche ebenfalls die Motoren der unteren Achsen (Y1 & Y2) halten, besteht wegen Gewichtsoptimierung und Dynamik aus Aluminium. Die Wärmeausdehnung wird durch biegsame Elemente geregelt. Es gibt 3 Linearführungen auf der unteren Platte. Die beiden äußeren Linearführungen, welche sich auf der Grundplatte des VULCANO befinden, sind Kungelumlaufführungen während der innere Schlitten (in der Mitte der Grundplatte angebracht) aus einer Rollenumlaufführung besteht. Die Entkopplung zwischen den 3 Schlitten wird durch biegsame Elemente durchgeführt. Einige dieser Elemente, welche am Führungswagen der äußeren Schlitten angebracht sind, erlauben eine Translation in X Richtung.

Einige andere Elemente, die an der mittleren Führungsschiene angebracht sind, erlauben eine Rotation um die vertikale Richtung. In die obere Achse (X) sind 2 Linearführungen eingebaut. Die Entkopplung wird ebenfalls durch ein weiteres Set an biegsamen Elementen erzielt, welches eine Translation in Y Richtung für eine der Schienen ermöglicht.

Die Nutzung dieser Plattform ist geeignet, aber nicht begrenzt für:
- Wafer-Prozess-Kontroll Applikationen, wie z.B. Overlay Metrologie, "Critical Dimension" und Thin film Metrologie.
- Back-end: spezielle Flip-Chip Prozesse welche auf großen Elementen/Substraten ausgeführt werden

Eigenschaften
- Kompakte Grundfläche
- Nanometer Positionsstabilität
- kurze Bewegungs- und Einschwingzeiten
- hohe Dynamik
- hohe bidirektionale Wiederholgenauigkeit
- hohe Positionsstabilität
- ISO class 1 Reinraumkompatibilität

Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.
  • VULCANO XY GESTAPELTE PLATTFORMEN
VULCANO XY GESTAPELTE PLATTFORMEN
VULCANO XY GESTAPELTE PLATTFORMEN
Positioniersystem
ETEL S.A.
Positioniersysteme
Die Vulcano XYT Plattform besteht aus dem Standard Vulcano XY, ausgestattet mit dem RTTB Drehmodul, welches einen hochauflösenden Encoder beinhaltet, angebunden an ein hervorragendes mechanisches Lager. Die Nutzung dieser Plattform ist geeignet aber nicht begrenzt für:
- Wafer-Prozess-Kontroll Applikationen, wie z.B. Overlay Metrologie, " Critical Dimension" und Thin film Metrologie.
- Back-end: spezielle Flip-Chip Prozesse welche auf großen Elementen/Substraten ausgeführt werden.

Eigenschaften
- kompakte Grundfläche
- Nanometer Poitionsstabilität
- kurze Bewegungs- und Einschwingzeiten
- hohe Dynamik
- hohe bidirektionale Wiederholgenauigkeit
- hohe Positionsstabilität
- ISO class 1 Reinraumkompatibilität

Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.
  • VULCANO XY GESTAPELTE PLATTFORMEN
VULCANO XYZ3TH GESTAPELTE PLATTFORMEN
VULCANO XYZ3TH GESTAPELTE PLATTFORMEN
Positioniersystem
ETEL S.A.
Positioniersysteme
Die Vulcano XYZ3TH Plattform ist die Erweiterung des Standard Vulcano XY Systems, ausgestattet mit dem kombinierten Z3TH Modul. Dieses 4 Freiheitsgrade-Modul, ermöglicht eine 364° Theta Drehbewegung, doppelte Z-Achsen, ein Grobe Achse zur Wafer Be- und Entladung und genaue Achse zur Fokuseinstellung, sowie eine Kipp- und Neige-Korrektur von ±0,1°.

Besonderheiten
- kompakte Grundfläche
- Nanometer Positionsstabilität
- hohe Dynamik: 2,5g, 1,5 m/s
- geringe Bewegungs- und Einschwingzeiten
- ISO1 Reinraumkompatibilität
- Kipp-Neige-Korrektur von ±0.1°
- doppelte Z Integration
- eingebauter Gewichtsausgleich in Z
- hervorragende Z Geradheit
- verbesserte Z Wiederholgenauigkeit und Jitter
- Möglichkeiten um die Ebenheit des Systems zu korrigieren
- eingebauter Vakuum-Anschluss an der Aufnahmevorrichtung

Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.
  • VULCANO XYZ3TH GESTAPELTE PLATTFORMEN
Z3TH KOMBINIERTES MODUL
Z3TH KOMBINIERTES MODUL
KOMBINIERTES MODUL
ETEL S.A.
Positioniersysteme
Z3TH KOMBINIERTES MODUL
Das Z3TH kombinierte Modul erweitert die Modulmöglichkeiten, welche oben auf bestehenden XY Plattformen sitzen können. Das Z3TH Modul, mit 4 Freiheitsgraden, ermöglicht eine 364° Theta Drehbewegung, doppelte Z-Achsen, eine Grobe für Waferbe- und Entladung und eine Genaue für Fokuseinstellung, sowie eine Kipp- und Neige-Korrektur von ±0,1°. Dieses Z3TH Modul ist eine gute Alternative zu Piezo basierenden Z Aktuatoren in dem es Hystereseeffekte und Nicht-Linearitäten im offenen Regelkreis beseitigt, während es einen besseren Schleppfehler in der Bewegung, sowie Wiederholgenauigkeit und ein verbesssertes Bewegungs- und Einschwingverhalten über einen noch längeren Verfahrweg bietet.

Das Z3TH Modul ist in erster Linie für Applikationen im Bereich Front-End geeignet und bietet die richtige Lösung um alle Applikationen zu bewältigen, die folgendes erfordern:
- Ausrichtung zwischen einem Prozesswerkzeug und dem Substrat
- Erfassung / Korrektur der Ebenheit
- Verbesserung des Bewegungs- und Einschwingverhaltens

Bereits bestehende Applikationen sind dem Bereich der Back-End Lithographie und Wafer Prozessüberwachung zuzuordnen.

Eigenschaften
- 364° Theta Drehbewegung
- Kipp- und Neige-Korrektur von ±0.1° zur Nivellierung und für die Verbesserung des Bewegungs- und - Einschwingverhaltens
- Vakuumdurchführung bis zur Aufnahmevorrichtung
- Doppelte Z Integration: Grobe Achse für Be- und Entladung und genaue Achse zur Fokuseinstellung
- ISO Klasse 1, Reinraumkompatibilität
- Geringer Rund- und Planlauffehler von ±1 µm

Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.
  • Z3TH KOMBINIERTES MODUL
ZT KOMBINIERTES MODUL
ZT KOMBINIERTES MODUL
Kombiniertes Modul
ETEL S.A.
Positioniersysteme
ZT KOMBINIERTES MODUL
Die ZT Box ist ein Modul, das zwei Freiheitsgrade in Z und Theta, innerhalb einer einzelnen Einheit kombinitert. Es sind zwei Antriebe möglich entlang der Z Richting, ein Grober und ein Genauer. Dieses Modul kann im Standalone-Modus oder oben auf der XY Plattform angebracht, verwendet werden. Dieses Modul ist besonders geeignet für Wafer Kontrollprozesse wie z.B. Dünnschicht-Messtechnik, kritische Maße, etc.

Eigenschaften
- Endlose Drehbewegung
- Eingebaute Vakuumversorgung bis zur Ebene der Wafer-Aufnahmevorrichtung
- Eingebauter Gewichtskraft-Ausgleich
- ISO1 Reinraum kompatibel dank Vakuumabsaugung
- Grobe Z Achse mit 12 mm Hub für Wafer Laden/Entladen und genaue Z Achse mit 4 mm Hub zur Fokuseinstellung
- Version ohne grobe Z Achse möglich
- Sehr kleiner Z Jitter sowie gutes Bewegungs- und Einschwingverhalten

Hauptspezifikationen
- Bidirektionale Wiederholgenauigkeit: ±0,3 µm für Z und ±2 arcsec für T
- Positionsgenauigkeit: ±0,6 µm für Z und ±30 arcsec für T
- Geschwindigkeiten: 0,1 m/s für Z und 15,7 rad/s für T
- Beschleunigung bis zu: 0,2 g für Z und 104,7 rad/s² für T
- Positionsstabilität: ±5 nm für Z und ±0,2 arcsec für T
- Lastkapazität: 1 kg

Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.
  • ZT KOMBINIERTES MODUL
QuiET
QuiET
Akitves Isolationsystem
ETEL S.A.
Elastische Lagerungselemente / Schwingungsisolierung
QuiET
Eine neue Lösung zur Schwingungsisolation
Das QuiET aktive Isolationssystem, ist ein neues Modul das beides beseitigt, systembedingte und (Fuß)-bodenbedingte Schwingungen in allen 6 Freiheitsgraden (6 DOF). Es hindert diese daran, Prozesse zu stören die auf der Bewegungsplattform stattfinden.

Meistens, integrieren High-End Anwendungen in der Halbleiterindustrie komplexe Prozessaufbauten, welche auf die eine oder andere Weise mit dem Granit der Bewegungsplattform verbunden ist.
Als solches, überträgt sich jede Schwingung auf der Granitebene in Ungenauigkeiten und längere Einschwingzeiten auf der Prozessebene. Dank ETELs Lösung, war es nie zuvor so effizient wie jetzt, diese Schwingungen los zu werden!

Die Bewegungs-Perfomance auf die nächste Ebene bringen!
Die QuiET Reihe bringt ETELs fortschrittliche Integrations-Strategie einen Schritt weiter. Von nun an, beinhaltet die hochentwickelte Bewegungsplattform nicht nur das zukunftsweisende Bewegungssystem und die dazugehörigen State-of-the-Art Motion Controller, sondern können auch von ETELs firmeneigenem aktiven Isolationsmodul profotieren. Dies macht ETEL zum einzigen Bewegungssystem-Lieferanten der so einen breiten Lieferumfang abdecken kann!
Dank eines patentrechtlich geschützten, geräuscharmen Sensors und einer gleichartigen, vollständig digitalen und deterministischen Bewegungsarchitektur, basierend auf 1 Gb TransnET, reduziert ETEL Bewegungs- und Einschwingzeiten bis zu beisspiellosen Werten. Mit einer Genauigkeit der Beschleunigungsvorsteuerung die mehr als 99% erreicht, verbleibt weniger als 1% der Energie, die das Bewegungsystem auf der Granitebene erzeugt. Die Granitmasse auf dem aktiven Isolationssystem kann daher klein gehalten werden, was wiederum die gesamte Anlage und die Masse reduziert, während die Prozesswerkzeuge direkt von einer ruhigeren Umgebung profitieren.

Modular, skalierbar und wartbar
Die QuiET Reihe wurde konzipiert um höchst modular und skalierbar zu sein. Dank einer Liste von vorausgewählten aktiven und passiven Komponenten, kann ETEL sehr schnell die optimierte Lösung finden die Ihre Anforderungen erfüllt! Federelemente, Lorentz Stellantriebe und herstellerspezifische Sensoren sind eingebettet in einer Art Sandwich basierten Architektur, die dann kundenspezifisch ist, um jegliche Systemanforderungen zu erfüllen und die Wartbarkeit im Feld zu vereinfachen. Die Controller des QuieET Moduls und die der Bewegungsplattform sind alle Standard AccurET Controller und können im selben Baugruppenträger oder Schaltschrank platziert werden.

Inbetriebnahme Programm
Eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche ist verfügbar. Sie ist konform mit jeglicher Art der Systemkonfiguration und beinhaltet:
- Automatische Einstellung der Vorsteuerungsparameter
- Identifikation des Systems
- Integrierte Abgleichmöglichkeiten
  • QuiET
  • QuiET
  • QuiET
  • QuiET
TMB+ TORQUEMOTOREN
TMB+ TORQUEMOTOREN
Antriebselement
ETEL S.A.
Antriebselemente
TMB+ TORQUEMOTOREN
Nach jahrzehntelanger, weltweiter Präsenz in der Werkzeugmaschinenindustrie mit markführenden Torque-Motoren, stellt ETEL nun den neuen TMB+ Motor vor. Der TMB+ Motor ist eine Weiterentwicklung des bekannten TMB Torque-Motors. Er bietet eine Kombination aus erhöhter Leistung und neuen Eigenschaften, während er zugleich die Schnittstellen der bereits existierenden Motoren unterstützt. In der Tat wurde die Drehmomentdichte des TMB+ um bis zu 20% erhöht, bei genau gleicher Baugröße und reduziertem Leistungsverlust um bis zu 30%. Der Geschwindigkeitsbereich wurde ebenfalls erheblich erweitert. Der TMB+ ermöglicht eine verbesserte Maschinenleistung und lässt zu, dass neue Prozesse in bereits existierenden Maschinen erreicht werden können, ohne Änderungen in der Konstruktion vorzunehmen. Mit seinem hervorragendem Leistungsniveau gewährt der TMB+ mehr Applikationen den Zutritt zur Direktantriebstechnologie, und hält zugleich die Qualität und Verlässlichkeit auf höchstem Niveau bei reduzierten Betriebskosten.

Alle TMB+ Varianten sind mit einem optionalen Kühlmantel erhältlich. Er besteht aus einer präzise montierten Metallummantelung, welche die Wasserdichtigkeit sicherstellt und exakt die gleiche Motorleistung garantiert wie bei der herkömmlichen "offenen Kühlung". Es gibt zwei verschiedene Kühlmantel-Typen die für jedes Maschinenkonzept geeignet sind: radialer oder axialer Wasserein- und Auslass.

Eigenschaften
- Mehr als 60 Standardgrößen verfügbar
- Aktive Länge bis zu 200 mm
- Vier verschiedene Wicklungen pro Durchmesser
- Offene oder geschlossene Kühlvarianten
- Nickelbeschichtung an Stator und Rotor
- Wasserkühlkanäle
- 600 VDC Bus Spannung
- Sehr hohe Dauerdrehmomentdichte
- Hoher Spitzendrehmoment
- Niedrige Drehmomentwelle
- Kompatibel mit IMTHP Modul für exakte Temperaturüberwachung

Hauptspezifikationen
- Außendurchmesser bis zu 1.290 mm
- Große Hohlwelle bis zu 1.070 mm
- Spitzendrehmoment bis zu 42.900 Nm
- Beschleunigung bis zu 4.590 rpm

Weitere Informationen finden Sie in den entsprechenden Spezifikationen und dem Katalog, oder fragen Sie nach dem Handbuch für Torquemotoren .
  • TMB+ TORQUEMOTOREN
TMB TORQUEMOTOREN
TMB TORQUEMOTOREN
Torquemotoren
ETEL S.A.
Antriebselemente
TMB TORQUEMOTOREN
Der TMB-Torquemotor ist seit mehr als 15 Jahren der bekannteste Torquemotor in der Werkzeugmaschinenindustrie. Heute wird der TMB-Motor auf der ganzen Welt in Hunderten von unterschiedlichen Anwendungen verwendet. Die patentierte TMB-Konstruktion bietet die bestmögliche Drehmomentdichte sowie ein hohes Spitzendrehmoment und extrem niedrige Drehmomentwelligkeit. Die Wärmeableitung wird über Wasserkühlkanäle im TMB-Gehäuse optimiert, um die Dauerkraft zu erhöhen, während die Maschinenstruktur kühl bleibt. Außerdem sind alle ETEL-Torquemotoren mit Temperatursensoren ausgestattet, um maximale Leistung mit extrem sicherem Betrieb zu verbinden (mehr Details sind auf der IMTHP-Seite zu finden).

Eigenschaften
- 50 Standardmodelle verfügbar
- Entwickelt für anspruchsvollste Anwendungen
- Wasserkühlkanäle
- Busspannung 600 VDC
- Hohes Dauerdrehmoment
- Sehr hohes Spitzendrehmoment
- Kompatibel mit dem IMTHP-Modul für genaue Temperaturregelung
- Niedrige Kraftwelligkeit

Hauptspezifikationen
- Außendurchmesser bis zu 1.290 mm
- Große Hohlwelle bis zu 1.070 mm
- Spitzendrehmoment bis zu 31.200 Nm
- Drehzahl bis zu 4.500 min-1

Weitere Informationen finden Sie in den entsprechenden Spezifikationen und dem Katalog, oder fragen Sie nach dem Handbuch für Torquemotoren .
  • TMB TORQUEMOTOREN
TMK-TORQUEMOTOREN
TMK-TORQUEMOTOREN
Torquemotoren
ETEL S.A.
Antriebselemente
TMK-TORQUEMOTOREN
Die TMK-Torquemotorreihe ist eine einzigartige Entwicklung, die den Arbeitsbereich von Torquemotoren in der Branche neu definiert. Die fortschrittliche elektromagnetische Konstruktion von TMK-Motoren ermöglicht es ihnen, Geschwindigkeitsstufen zu erreichen, die bei Torquemotoren nicht zu erwarten waren. Bei TMK-Motoren kann der maximale Geschwindigkeitsbereich das 8-fache der Geschwindigkeit herkömmlicher Drehmomentmotoren ähnlicher Größe erreichen. Außerdem sind die Dauer- und Spitzendrehmomente größer als bei Torquemotoren ähnlicher Größe. Als solches ist TMK eine einzigartige, revolutionäre Entwicklung, welche die Definition von "Hochgeschwindigkeit" im Bereich der Torquemotoren drastisch verändert.

Eigenschaften
- 24 Standard-Modelle verfügbar
- Größeres Drehmoment und höhere Drehzahl im Vergleich zu klassischen Torquemotoren
- Große Robustheit des Motors (vollständig gekapselte Magnete)
- Sehr hohes Spitzendrehmoment
- TMK-Stator (bis zu Ø 530 mm) kompatibel mit der mechanischen Schnittstelle der TMB-Serie
- Wasserkühlkanäle
- Busspannung 600 VDC
- Sehr hohes Spitzendrehmoment
- Dauerdrehmoment im Vergleich zum TMB um bis zu 30% erhöht
- Im Vergleich zum TMB ist die Geschwindigkeit bis um das 8-fache erhöht
- Feldschwächungskonform
- Kompatibel mit dem IMTHP-Modul für genaue Temperaturregelung
- Niedrige Drehmomentwelligkeit

Hauptspezifikationen
- Außendurchmesser bis zu 1.050 mm
- Große Hohlwelle bis zu 800 mm
- Spitzendrehmoment bis zu 20.800 Nm
- Drehzahl bis zu 5.450 min-1

Weitere Informationen finden Sie in den entsprechenden Spezifikationen und dem Katalog, oder fragen Sie nach dem Handbuch für Torquemotoren .
  • TMK-TORQUEMOTOREN
TML TORQUEMOTOREN
TML TORQUEMOTOREN
Torquemotoren
ETEL S.A.
Antriebselemente
TML TORQUEMOTOREN
Der TML-Torquemotor ist eine leichtere und günstigere Version des bekannten TMB-Motors. Dieses Motorenprogramm ist perfekt geeignet für Anwendungen, die das dynamische Leistungsniveau eines Direktantrieb-Torquemotors erfordern, aber geringere Ansprüche an das Dauerdrehmoment stellen. TML wird für Anwendungen, in denen keine Wasserkühlung benötigt wird, genutzt. TML-Motoren haben spezielle Befestigungslaschen, um den Einbau in die endgültige Maschinenstruktur zu erleichtern.

Eigenschaften
- 25 Standardmodelle verfügbar
- Kostengünstig
- Keine Wasserkühlungsoption
- Busspannung 600 VDC
- Sehr hohes Spitzendrehmoment
- Kompatibel mit dem IMTHP-Modul für genaue Temperaturregelung
- Niedrige Drehmomentwelligkeit

Hauptspezifikationen
- Außendurchmesser bis zu 581 mm
- Große Hohlwelle bis zu 420 mm
- Spitzendrehmoment bis zu 4.990 Nm
- Drehzahl bis zu 1.000 min-1

Weitere Informationen finden Sie in den entsprechenden Spezifikationen und dem Katalog, oder fragen Sie nach dem Handbuch für Torquemotoren .
  • TML TORQUEMOTOREN
TMM TORQUEMOTOREN
TMM TORQUEMOTOREN
Torquemotoren
ETEL S.A.
Antriebselemente
TMM TORQUEMOTOREN
Der TMM-Torquemotor von ETEL ist eine leichtere und günstigere Version des bekannten TMB-Motors. Dieses Motorenprogramm ist perfekt geeignet für Anwendungen, die das dynamische Leistungsniveau eines Direktantrieb-Torquemotors erfordern, aber geringere Ansprüche an das Dauerdrehmoment stellen. TMM wird für Anwendungen, in denen keine Wasserkühlung benötigt wird, genutzt. TMM-Motoren sind so konzipiert, dass sie direkt in die endgültige Maschinenstruktur eingeklebt werden können.

Eigenschaften
- 25 Standardmodelle verfügbar
- Kostengünstig
- Keine Wasserkühlungsoption
- Busspannung 600 VDC
- Sehr hohes Spitzendrehmoment
- Kompatibel mit dem IMTHP-Modul für genaue Temperaturregelung
- Niedrige Drehmomentwelligkeit

Hauptspezifikationen
- Außendurchmesser bis zu 530 mm
- Große Hohlwelle bis zu 420 mm
- Spitzendrehmoment bis zu 4.990 Nm
- Drehzahl bis zu 2.600 min-1

Weitere Informationen finden Sie in den entsprechenden Spezifikationen und dem Katalog, oder fragen Sie nach dem Handbuch für Torquemotoren .
  • TMM TORQUEMOTOREN
ZAO SHORT STROKE ACTUATOR
ZAO SHORT STROKE ACTUATOR
Präzisionsversteller
ETEL S.A.
Präzisionsversteller
ZAO SHORT STROKE ACTUATOR
ZAO ist ein Antrieb der eine reibungsfreie Lageranordnung und geringe bewegte Massen beinhaltet. Dadurch sollen Applikationen mit sehr kleinen und re-produzierbaren Kräften sichergestellt, sowohl als auch kleine Kraftüberschwinger beim Auftreffen auf einer Kontaktoberfläche vermieden werden. Er wurde gebaut um die Vorteile des sensorlosen Kraftregelungs-Algorithmus von ETEL in vollem Umfang zu nutzen. ZAO ermöglicht gleichzeitig eine sehr enge Kraftregelungsgenauigkeit (0.2 N ±10%) und eine sehr hohe dynamische Leistungsfähigkeit (bis zu 20 g’s).

Hauptspezifikationen
- Gesamthub: 27 mm
- Beschleunigung: 20 g
- Anwendungen mit Nennkraft: 0.2 bis 2 N
- Kraftstabilität bei Kraftniveau 0.2N: ± 3 mN
- Typische Bewegung und Kraft: 8.5 mm ± 0.3 mm & 0.2 N ± 0.04N in 60 ms

Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.
  • ZAO SHORT STROKE ACTUATOR
DYNX VERTIKALACHSEN-LÖSUNG
DYNX VERTIKALACHSEN-LÖSUNG
Ejes lineales
ETEL S.A.
Präzisionsversteller
DYNX VERTIKALACHSEN-LÖSUNG
Die DynX Kugelgewindtrieb Linear-Baureihe ist eine hochpräzise Achse bestimmt für vertikale Anwendungen. Sie ist mit verschiedenen Standardverfahrwegen verfügbar und ist ideal für alle Anwendungen wo hohe Zuverlässigkeit, hoher Durchsatz, herausragende Genauigkeit und einfache Integration benötigt werden.
Diese DynX Achsen können Aufspannplatten (Standard oder kundenspezifisch) und Anschlusselemente (Motor, Encoder und wahlweise hi-flex / long-life Verlängerungskabel sind in unterschiedlichen Standardlängen verfügbar und mit den verschiedenen ETEL Controllern kompatibel) integrieren.

Eigenschaften
- 1 Breite: 155 mm
- Drei Standardhübe bis zu 150 mm
- Von einer Kugelumlaufspindel angetriebene Version
- Duales Encoder-Feedback
- Auf Anfrage ist auch eine Linearmotor-Version mit Gewichtsausgleich erhältlich
- Leicht zugängliche Schnittstelle
- Optionen wie Endschalter, Bremse und Kapselung stehen zur Verfügung.

Hauptspezifikationen
- Bidirektionale Wiederholgenauigkeit ± 0,5 μmat ± 3s
- Absolute Positioniergenauigkeit
- bis zu ±4 µm (ohne Mapping)
- nicht über ±2 µm (mit Mapping)
- Geschwindigkeit bis zu 0,3 m/s
- Beschleunigung bis zu 3 g (30 m/s2)
- Positionsstabilität ± 40 nm
  • DYNX VERTIKALACHSEN-LÖSUNG
AQUARIUS KURZHUB-ANTRIEB
AQUARIUS KURZHUB-ANTRIEB
Kurzhub-Antrieb
ETEL S.A.
Präzisionsversteller
AQUARIUS KURZHUB-ANTRIEB
Dieser Antrieb, AQUARIUS, kann in allen Anwendungen genutzt werden, bei denen Kraft, Durchsatz, hohe Lebensdauer und Zuverlässigkeit erforderlich sind, und das mit einem kleinen Formfaktor. Er erfüllt üblicherweise die Anforderung einer unabhängigen Z-Achse für Prüfanwendungen.

Wichtigste Merkmale
- Gesamter Hub: 11,4 mm
- Spitzenkraft: 120 N
- Dauerkraft: 29,5 N
- Geschwindigkeit bis zu 1 m/s
- Beschleunigung bis zu 30 g

Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.
  • AQUARIUS KURZHUB-ANTRIEB
TUCANA KURZHUB-ANTRIEB
TUCANA KURZHUB-ANTRIEB
Kurzhub-Antrieb
ETEL S.A.
Präzisionsversteller
TUCANA KURZHUB-ANTRIEB
Dieser Antrieb, Tucana, kann genutzt werden, in allen Anwendungen, bei denen Kraft, Durchsatz, hohe Lebensdauer und Zuverlässigkeit erforderlich sind, und das mit einem kleinen Formfaktor. Er erfüllt üblicherweise die Anforderung einer unabhängigen Z-Achse für Prüfanwendungen.

Hauptspezifikationen
> Gesamter Hub: 10,7 mm
> Spitzenkraft: 29 N
> Dauerkraft: 11,5 N
> Geschwindigkeit bis zu 1 m/s
> Beschleunigung bis zu 30 g

Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.
  • TUCANA KURZHUB-ANTRIEB
Produktdetails Zur Webpräsenz Datenblatt Produktanfrage
RTMBI DREHACHSEN
RTMBI DREHACHSEN
Drehachsen
ETEL S.A.
Schalttischeinheiten
RTMBI DREHACHSEN
Die RTMBi Reihe ist eine Familie von hochpräzisen Rundschalttischen, die in 5 verschieden aktiven Längen angeboten wird. In dem man ETEL Direktantriebs-Torque-Motoren integriert, profitiert die RTMBi Reihe von der besten Motorkonstanten auf dem Markt (Nm/?W), welche sehr hohe Beschleunigungen während der Indexierung mit geringer Verlustleistung ermöglicht.
Die RTMBi Reihe ist die ideale Standardlösung für alle Anwendungen wo hohe Zuverlässigkeit und kurze Schaltzeiten benötigt werden. Diese äußerst zuverlässige Direktantriebslösung ermöglicht hohe Arbeitszyklen, hohe Dynamik, herausragende Genauigkeit, geringen Wartungsaufwand und einfache Integration.

Eine einzigartige Lösung der Encoderlagerung, bietet der RTMBi Reihe das Drehmoment zu Bauraum Verhältnis auf dem Markt. Eine optimierte Größe der Hohlwelle ist verfügbar, um die Kundenkabel und -Schläuche aufzunehmen. Einzeln verwendet oder verbunden mit ETELs kraftgesteuerten Kurzhubantrieben und AccurET Controllern, ist der RTMBi die perfekte Lösung für Anwendungen in der Backend-Halbleiterfertigung, Elektronik, Automation oder Drucken, wie z.B. MEMS Tester, die bonder, pick und place Tester, Rundtakt Tester und mehr!

Eigenschaften
- Drehtische für hochdynamische Indexierungssanwendungen
- 5 verschiedene Höhen
- Hohes Drehmoment-Höhen-Verhältnis
- Hohe Dynamik-Fähigkeiten
- Große Hohlwelle für maximale Flexibilität
- Die TMB-Torquemotortechnologie bietet ein hohes Drehmoment
- Semi S22 kompatibel.

RTMBi im Vergleich zu RTMB
- Dauerdrehmoment um bis zu 20% verbessert
- Spitzendrehmoment um bis zu 8.5% verbessert
- Massenträgheit um bis zu 20% reduziert
- 600 VDC Kompatibilität
- Gleiche mechanische Schnittstelle

Hauptspezifikationen
- Bidirektionale Wiederholgenauigkeit ±3 arcsec bei ±3 sigma
- Positionsgenauigkeit
- ±20arcsec (ohne Mapping)
- ±6 arcsec (mit Mapping)
- Drehzahl bis zu 1200min-1

Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.
  • RTMBI DREHACHSEN
EISENBEHAFTETE LMA-LINEARMOTOREN
EISENBEHAFTETE LMA-LINEARMOTOREN
Linearmotoren
ETEL S.A.
Linearantriebe
Die LMA Linearmotoren sind Linearmotoren mittlerer Größe, die für Anwendungen, die hohe Dauerkraft erfordern, optimiert sind. Die von ETEL patentierte Konstruktion ermöglicht ein hohes kontinuierliches Kraftniveau bei sehr geringem Volumen. Darüber hinaus ist aufgrund der speziellen elektromagnetischen Konstruktion das Niveau der Kraftwelligkeit sehr niedrig.

Eigenschaften
- 8 Standardmodelle verfügbar
- Konzipiert für hohe Dauerkraft
- Mittlere Größe
- Freie Luftkühlung
- Niedrige Kraftwelligkeit
- Geeignet für 600 VDC

Hauptspezifikationen
- Dauerkraft bis zu 944 N
- Spitzenkraft bis zu 3.650 N
- Geschwindigkeit bis zu 15 m/s

Weitere Informationen finden Sie in den entsprechenden Spezifikationen und dem Katalog, oder fragen Sie nach dem Handbuch für Linearmotoren.
  • EISENBEHAFTETE LMA-LINEARMOTOREN
Produktdetails Zur Webpräsenz Datenblatt Produktanfrage
EISENBEHAFTETE LMG-LINEARMOTOREN
EISENBEHAFTETE LMG-LINEARMOTOREN
Linearmotoren
ETEL S.A.
Linearantriebe
Die LMG-Linearmotoren sind kleine Motoren, die für hochdynamische Anwendungen optimiert sind. LMG-Motoren bieten ein optimales Verhältnis von Spitzen- zu Dauerkraft. Mit ihrem geringen Gewicht und der Fähigkeit zu hoher Spitzenkraft sind LMG-Motoren perfekt für High-End-Linearachsen mit mittleren bis geringen bewegten Massen und hohen Beschleunigungsanforderungen geeignet. Darüber hinaus bietet die von ETEL patentierte Konstruktion einen sehr kompakten Formfaktor und die niedrigstmögliche Kraftwelligkeit für eine gleichförmige Bewegung.

Eigenschaften
- 14 Standardmodelle verfügbar
- Konzipiert für hohe Spitzenkraft
- Kompakte Bauweise
- Wirtschaftlich
- Freie Luftkühlung
- Niedrige Kraftwelligkeit
- Geeignet für 600 VDC

Hauptspezifikationen
- Dauerkraft bis zu 689N
- Spitzenkraft bis zu 3.630N
- Geschwindigkeit bis zu 15 m/s

Weitere Informationen finden Sie in den entsprechenden Spezifikationen und dem Katalog, oder fragen Sie nach dem Handbuch für Linearmotoren.
  • EISENBEHAFTETE LMG-LINEARMOTOREN
Produktdetails Zur Webpräsenz Datenblatt Produktanfrage
EISENBEHAFTETE LMS-LINEARMOTOREN
EISENBEHAFTETE LMS-LINEARMOTOREN
Linearmotoren
ETEL S.A.
Linearantriebe
LMS-Linearmotoren bieten eine wesentlich höhere Dauerkraft als das vorhandene LMG-Sortiment, während sie in Bezug auf die mechanische Integration sehr ähnlich sind. Der LMS ähnelt dem LMG genug, um derzeitigen LMG-Kunden, die eine höhere Leistung wünschen, eine problemlose Maschinenaufrüstung zu ermöglichen. Anwendungen für LMS ergeben sich bei Maschinen, bei denen hohe Leistungsdichte in Kombination mit hoher Dynamik für bewegte Massen im mittleren Bereich erforderlich ist. LMS erfüllt auch erfolgreich anspruchsvolle Bewegungsanforderungen von High-End Automatisierungsmaschinen bis hin zu anspruchsvollen Bewegungssystemen für Halbleiter/Elektronik Anwendungen.

Eigenschaften
- 14 Standardmodelle verfügbar
- Konzipiert für hohe Spitzenkraft
- Kompakte Bauweise
- Wirtschaftlich
- Freie Luftkühlung
- Niedrige Kraftwelligkeit
- Geeignet für 600 VDC

Hauptspezifikationen
- Dauerkraft bis zu 908 N
- Spitzenkraft bis zu 3.640 N
- Geschwindigkeit bis zu 15 m/s

Weitere Informationen finden Sie in den entsprechenden Spezifikationen und dem Katalog oder fragen Sie nach dem Handbuch für Linearmotoren .
  • EISENBEHAFTETE LMS-LINEARMOTOREN
ILF+ IRONLESS LINEAR MOTORS
ILF+ IRONLESS LINEAR MOTORS
Linearantrieb
ETEL S.A.
Linearantriebe
ILF+ IRONLESS LINEAR MOTORS
Die ILF + eisenlosen Linearmotoren sind kleine Größe Motoren bestens geeignet für sehr hohe dynamische und geringe bewegte Massenanwendungen. Darüber hinaus das völlige Fehlen von Kraft Welle sorgt für perfekte Geschwindigkeit Stabilität und macht ILF + geeignet für alle Scannen-Anwendungen wo Drehzahlregelung ist eine Schlüsselangabe. Wie bei allen eisenlosen Motoren bietet ILF + Null Anziehungskraft zwischen den Schirm und die magnetische Wege. Zur weiteren Erhöhung der Dauerkraft ILF + mit ein forcierter Kühlung Option lieferbar.

Merkmale
-3 standard-Modelle
-Ausgelegt für mittlere Kraft
-Kleine bis mittlere Größen
-Leichte bewegliche Teile
-Geeignet für Luftlager
-Umluft Kühloption
-Keine Anziehungskraft
-Keine Kraft Welligkeit

Wichtigsten Spezifikationen
-Kontinuierliche Kraft bis zu 69 N
-Peak Kraft bis zu 297 N
-Geringe Segelflugzeug Massen bis zu 100 g
Diese Beschreibung wurde von Englisch nach Deutsch mit "Bing Translator" übersetzt.
  • ILF+ IRONLESS LINEAR MOTORS
IMTHP THERMISCHER MOTORSCHUTZ
IMTHP THERMISCHER MOTORSCHUTZ
Thermischer Motorschutz
ETEL S.A.
Steuer- und Regelgeräte für Temperatur, Wärmemenge
IMTHP THERMISCHER MOTORSCHUTZ
ETELs Torquemotoren werden durch die IMTHP vor Überhitzung geschützt. Diese erlaubt dem Anwender die Temperaturgrenze des Motors zu erreichen und dennoch die zulässigen Sicherheitswerte einzuhalten.
- Präzise Temperaturüberwachung zur Vermeidung einer Überhitzung auch in anspruchsvollem Motorbetrieb (z.B. Stillstandskonditionen).
- Intrinsische Verzögerungen bei der Temperaturmessung werden durch Software kompensiert, um eine wahre Echtzeitüberwachung zu bieten.
- Die komplette Motortemperaturinformation wird dem Benutzer folgendermaßen mitgeteilt:
- 1 x Analoges KTY-Signal
- 1 x Digitales Warnsignal
- 1 x Digitales Fehlersignal

Weitere Informationen sind im Torquemotoren-Handbuch enthalten.
  • IMTHP THERMISCHER MOTORSCHUTZ
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