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ETEL S.A.
Drehtische
DXR+
The DXR+ is a rotary module of ETEL featuring a compact design, light mass, large hollow shaft and providing the right performance to cost ratio for mid-end applications in semiconductor and electronics.
The DXR+ brings major improvements in terms of stiffness which has a direct impact on the control bandwidth of the XY stage that is supporting it. The DXR+ module can be operated from 48 VDC up to 300 VDC bus voltage. It can be driven by an AccurET modular 48 or 300, or by an AccurET VHP for better position stability requirements.

Like for any other standard modules from ETEL (ZT, Z3TH, RTTB), the DXR+ can ne mounted on any standard XY platforms. The DXR+ is a one degree of freedom module allowing unlimited angular travel. Nevertheless, as an option, travel can be limited to angular segments that are multiple of around 60°. The cleanliness level of a DXR+ ranges from ISO 5 down to ISO 1 under specific conditions.

The DXR+ module provides a right solution to cope with any applications requiring:
- Smoothness of motion
- Mid-end type of accuracy requirements (typically around 5 µm runout)
- Position stability in the 100 nm range @ 150 mm radius

The use of this module is suitable for, but not limited to:
- wafer process control, wafer dicing
- wafer scribing
- laser annealing
- solar cell manufacturing
- etc

Characteristics
- Diameter: 155 mm
- Toothless motor technology (zero cogging) for high speed stability
- Low profile / low mass for high precision applications
- High accuracy non-contact optical encoder
- Unlimited angular travel possibilities
- Large hollow shaft: 44 mm
- Vacuum supply at chuck level
- ISO class 5 clean room compatibility; possibilty to reach ISO class 1

Main features
- Bidirectional repeatability ±2 arcsec at ±3sigma
- Position accuracy
- down to ±30 arcsec (w/o calibration)
- down to ±3 arcsec after calibration
- Speed up to 400 rpm
- Position stability ±0.2 arcsec
- High speed stability capabilities

Ask for the corresponding Integration Manual for more information.
  • DXR+
DXR+
DXR+
Drehtisch
ETEL S.A.
Drehtische
DXR+
The DXR+ is a rotary module of ETEL featuring a compact design, light mass, large hollow shaft and providing the right performance to cost ratio for mid-end applications in semiconductor and electronics.
The DXR+ brings major improvements in terms of stiffness which has a direct impact on the control bandwidth of the XY stage that is supporting it. The DXR+ module can be operated from 48 VDC up to 300 VDC bus voltage. It can be driven by an AccurET modular 48 or 300, or by an AccurET VHP for better position stability requirements.

Like for any other standard modules from ETEL (ZT, Z3TH, RTTB), the DXR+ can ne mounted on any standard XY platforms. The DXR+ is a one degree of freedom module allowing unlimited angular travel. Nevertheless, as an option, travel can be limited to angular segments that are multiple of around 60°. The cleanliness level of a DXR+ ranges from ISO 5 down to ISO 1 under specific conditions.

The DXR+ module provides a right solution to cope with any applications requiring:
- Smoothness of motion
- Mid-end type of accuracy requirements (typically around 5 µm runout)
- Position stability in the 100 nm range @ 150 mm radius

The use of this module is suitable for, but not limited to:
- wafer process control, wafer dicing
- wafer scribing
- laser annealing
- solar cell manufacturing
- etc

Characteristics
- Diameter: 155 mm
- Toothless motor technology (zero cogging) for high speed stability
- Low profile / low mass for high precision applications
- High accuracy non-contact optical encoder
- Unlimited angular travel possibilities
- Large hollow shaft: 44 mm
- Vacuum supply at chuck level
- ISO class 5 clean room compatibility; possibilty to reach ISO class 1

Main features
- Bidirectional repeatability ±2 arcsec at ±3sigma
- Position accuracy
- down to ±30 arcsec (w/o calibration)
- down to ±3 arcsec after calibration
- Speed up to 400 rpm
- Position stability ±0.2 arcsec
- High speed stability capabilities

Ask for the corresponding Integration Manual for more information.
  • DXR+
DYNX DREHACHSEN
DYNX DREHACHSEN
Drehachsen
ETEL S.A.
Drehtische
DYNX DREHACHSEN
Die DynX Rotary-Baureihe ist eine Produktfamilie von hochpräzisen Positionierungsdrehachsen. Mit einer Produktpalette, die über 3 verschiedene Durchmesser verfügt, ist die DynX Rotary-Serie die ideale Standardlösung für alle Anwendungen, bei denen hohe Zuverlässigkeit, hervorragende Genauigkeit, geringer Wartungsaufwand und einfache Integration gefordert sind.
Das DynX Rotary Produkt ist eine perfekte Ergänzung zu den linearen Produkten. Es wird keine Schnittstellenplatte benötigt, um Linear- und Drehachsen zu verbinden; daraus ergibt sich eine kompakte Bauweise und eine sehr steife und präzise gestapelte Lösung. Die Drehachsen sind mit einer zahnlosen Motortechnologie ausgestattet, die eine gleichmäßige Bewegung gewährleistet; dadurch sind sie ideal für Anwendungen geeignet, bei denen es auf hohe Geschwindigkeitsstabilität ankommt. Große Hohlwellen, die die Kabel und Schläuche der Kunden aufnehmen können, sind verfügbar.

Eigenschaften
- 3 verschiedene Durchmesser: 100 / 155 / 225 mm
- Zahnlose Motortechnologie (kein cogging) für hohe Geschwindigkeitsstabilität
- Flacher Aufbau / geringe Masse für hochpräzise Anwendungen
- Hochpräziser berührungsloser optischer Encoder
- Verfahrwinkelbegrenzung möglich von 20° bis 390°
- Große Hohlwelle für maximale Flexibilität
- Winkellineal für die Inbetriebnahme
- Optionen und Zubehör, wie beispielsweise eingeschränkte Hübe, Sperrluft und Verlängerungskabel, verfügbar

Wichtigste Merkmale
- Bidirektionale Wiederholgenauigkeit ±1,5 arcsec bei ±3 sigma
- Positionsgenauigkeit
- bis zu ±30 arcsec (ohne Kalibrierung)
- bis zu ±3 arcsec nach Kalibrierung
- Drehzahl bis zu 400min-1
- Positionsstabilität ± 0,2 arcsec
- Hohe Geschwindigkeitsstabilität

Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.
  • DYNX DREHACHSEN
RTTB DREHACHSEN
RTTB DREHACHSEN
Drehachsen
ETEL S.A.
Drehtische
RTTB DREHACHSEN
ASME-RTTB01800202PAS0367-T STANDALONE AXIS
Die RTTB-Achse ist die erste direkt angetriebene Drehplattform auf dem Markt, die zu Positionsstabilität im Nanometerbereich fähig ist, bei einem Arbeitsdurchmesser von 450 mm. Dies wird möglich durch den beispiellosen hochauflösenden Encoder, der mit einem hervorragenden mechanischen Lager gekoppelt wird.

Dieser Tisch ist besonders gut geeignet für Anwendungen, an die folgende Anforderungen gestellt werden:
- Laufruhige Bewegung, Hochgeschwindigkeitsstabilität, niedriger Schleppfehler
- Ultrahohe Wiederholgenauigkeit
- Sehr gute Positionsgenauigkeit ohne Kalibrierung
- Hervorragende Positionsstabilität
- Exzellenter Planlauf und Rundlauf
- ISO1 Reinraumkompatibel

Wichtigste Merkmale
- Bidirektionale Wiederholgenauigkeit ± 0,3 arcsec
- Positionsgenauigkeit ±3 arcsec (ohne Kalibrierung)
- Drehzahl bis zu 60min-1
- Lastkapazität 30 kg

Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.
  • RTTB DREHACHSEN