Messtechnik & Qualitätssicherung

Die DXRH ist die neueste Ergänzung der ETEL-Rotationsachsenlösungen. Es handelt sich um eine mechanisch gelagerte Drehachse mit 1 DOF, die eine hervorragende Leistung in Bezug auf Genauigkeit und Präzision bietet. Ausgestattet mit einem 360'000-Linien-Drehgeber und unübertroffenen mechanischen Eigenschaften, die direkt mit Luftlagerlösungen vergleichbar sind, ohne die damit verbundene Komplexität, wird die DXRH in ihrem Herzstück von HEIDENHAINs bester Drehgeber- und Lagertechnologie und dem zahnlosen ETEL-Direktantrieb ohne Drehmomentwelligkeit bedient. Das DXRH-Modul ist vollständig kompatibel mit den Standard-ETEL-Schnittstellen und ist als Standalone-Modul oder integriert in das ETEL-Systemportfolio erhältlich. Es bietet außerdem einen Performance-Upgrade-Pfad für alle DXR+-basierten Anwendungen ohne jegliches Redesign, da die Schnittstellen identisch sind. Das DXRH-Drehmodul kann in die Stapelplattformen CHARON2 und VULCANO2 integriert werden. Es bringt hohe Steifigkeit, hohe Präzision, hohe Genauigkeit, hohen Reinheitsgrad sowie geringe thermisch induzierte Verformung dank seines Edelstahldesigns. Mit dem Fokus auf die Vereinfachung von Halbleiteranwendungen passt das Modul zu allen unterschiedlichen Märkten und Bedürfnissen, die Lösungen für hochpräzise und hochgenaue Rotation erfordern. Das DXRH-Drehmodul eignet sich für verschiedene Anwendungen und Branchen, insbesondere für Anwendungen in der Wafer-Prozesskontrolle wie Overlay-Metrologie, Critical Dimension und Dünnschicht-Metrologie sowie in der Photonik. Translated with DeepL

Das DXR+ ist ein Drehmodul von ETEL, welches ein kompaktes Design, leichte Masse und eine große Hohlwelle aufweist und das richtige Leistungs- zu Kostenverhältnis für mittlere Anwendungen im Halbleiter- und Elektronikbereich bietet. Das DXR+ bringt wesentliche Verbesserungen hinsichtlich Steifigkeit, welche direkte Auswirkungen auf die Regelbandbreite des XY-Tisches haben, der es unterstützt. Das DXR+ Modul kann von 48 VDC bis zu 300 VDC Busspannung betrieben werden. Es kann von einem AccurET Modular 48 oder 300 betrieben werden oder von einem AccurET VHP für höhere Positionsstabilitäts-Anforderungen. Wie jedes andere Standard Modul von ETEL (ZT,Z3TH, RTTB), kann das DXR+ auf jede Standard XY Plattform montiert werden. Das DXR+ ist ein Modul mit einem Freiheitsgrad, welches unbegrenzte Drehwinkel ermöglicht. Dennoch, als Option, kann der Verfahrbereich in Winkelsegmenten begrenzt werden, welche ein Vielfaches von ca. 60° sind. Die Reinraumklasse eines DXR+ reicht unter bestimmten Bedingungen von ISO 5 bis hin zu ISO 1. Das DXR+ Modul bietet eine richtige Lösung um jede Anwendung zu meistern, die folgendes benötigt: - Gleichlauf der Bewegung - Mittlere Genauigkeitsanforderungen (normalerweise 5 µm Rundlauf) - Positionsstabilität im 100 nm Bereich @ 150 mm Radius Der Einsatz dieses Moduls ist für folgendens geeignet, aber nicht darauf beschränkt: - Wafer Prozesskontrolle, Wafer-dicing - Wafer Strukturierung - Laser Annealing - Solarzellen-Herstellung - etc. Eigenschaften - Diameter: 155 mm - Toothless motor technology (zero cogging) for high speed stability - Low profile / low mass for high precision applications - High accuracy non-contact optical encoder - Unlimited angular travel possibilities - Large hollow shaft: 44 mm - Vacuum supply at chuck level - ISO class 5 clean room compatibility; possibilty to reach ISO class 1 Hauptspezifikationen - Bidirectional repeatability ±2 arcsec at ±3sigma - Position accuracy - down to ±30 arcsec (w/o calibration) - down to ±3 arcsec after calibration - Speed up to 400 rpm - Position stability ±0.2 arcsec - High speed stability capabilities Für weitere Informationen fragen Sie nach dem dazugehörigen Integrationshandbuch.

Die DynX Rotary-Baureihe ist eine Produktfamilie von hochpräzisen Positionierungsdrehachsen. Mit einer Produktpalette, die über 3 verschiedene Durchmesser verfügt, ist die DynX Rotary-Serie die ideale Standardlösung für alle Anwendungen, bei denen hohe Zuverlässigkeit, hervorragende Genauigkeit, geringer Wartungsaufwand und einfache Integration gefordert sind. Das DynX Rotary Produkt ist eine perfekte Ergänzung zu den linearen Produkten. Es wird keine Schnittstellenplatte benötigt, um Linear- und Drehachsen zu verbinden; daraus ergibt sich eine kompakte Bauweise und eine sehr steife und präzise gestapelte Lösung. Die Drehachsen sind mit einer zahnlosen Motortechnologie ausgestattet, die eine gleichmäßige Bewegung gewährleistet; dadurch sind sie ideal für Anwendungen geeignet, bei denen es auf hohe Geschwindigkeitsstabilität ankommt. Große Hohlwellen, die die Kabel und Schläuche der Kunden aufnehmen können, sind verfügbar. Eigenschaften - 3 verschiedene Durchmesser: 100 / 155 / 225 mm - Zahnlose Motortechnologie (kein cogging) für hohe Geschwindigkeitsstabilität - Flacher Aufbau / geringe Masse für hochpräzise Anwendungen - Hochpräziser berührungsloser optischer Encoder - Verfahrwinkelbegrenzung möglich von 20° bis 390° - Große Hohlwelle für maximale Flexibilität - Winkellineal für die Inbetriebnahme - Optionen und Zubehör, wie beispielsweise eingeschränkte Hübe, Sperrluft und Verlängerungskabel, verfügbar Hauptspezifikationen - Bidirektionale Wiederholgenauigkeit ±1,5 arcsec bei ±3 sigma - Positionsgenauigkeit - bis zu ±30 arcsec (ohne Kalibrierung) - bis zu ±3 arcsec nach Kalibrierung - Drehzahl bis zu 400min-1 - Positionsstabilität ± 0,2 arcsec - Hohe Geschwindigkeitsstabilität Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.

ACCURET+: ULTIMATE PERFORMANCE IN MOTION CONTROL Das neue ACCURET+ steht für ultimative Leistung, eine Demonstration von ETELs bester Tradition in der Bewegungssteuerung. Die ersten beiden Mitglieder des Portfolios sind der ACCURET+100 und der ACCURET+300. Diese Steuerungen sind mit allen Mitgliedern der AccurET-Familie kompatibel und bieten eine größere Bandbreite an Stromstärken im gleichen modularen Design. Dieses Design macht die Integration der ACCURET+ Positionsregler in die Maschine sehr einfach und bietet eine sehr kompakte Lösung: - Jeder Regler kann zwei Achsen antreiben und ein einziges Netzteil kann für mehrere ACCURET+ verwendet werden, die sich dieselbe Zwischenkreisspannung teilen. - Eine breitere Formfaktor-Version ist verfügbar, die den Einbau von optionalen Boards, wie z.B. dem ULTIMET LIGHT TCP/IP Motion Controller, ermöglicht. - Vereinfachte Strom- und Kommunikationsverkabelung sowie eine kompakte Kühleinheit machen die Installation und Wartung der Maschine einfach. - Es wird kein Gestell benötigt, so dass das erforderliche Volumen nur von der Anzahl der angetriebenen Achsen abhängt. Translated with DeepL

Der UltimET Advanced ist ein leistungsstarker und vielseitiger Mehrachs-Motion-Controller, der das bestehende Produktportfolio der UltimET-Familie im High-End-Bereich verstärkt. Mit dem UltimET Advanced bringt ETEL nicht nur einen Motion-Controller mit herausragender Leistung auf den Markt, sondern auch ein hohes Maß an Flexibilität bei der Steuerung fortschrittlicher Bewegungssysteme mit Strategien, die sich sehr präzise an die speziellen Anforderungen verschiedener Anwendungen anpassen lassen. Translated with DeepL

AccurET: Eine Produktfamilie von modularen Hochleistungs-Positionsreglern AccurET Positionsregler decken eine breite Palette von Spannungs- und Strombereichen in einer kompakten Lösung ab. Dadurch wird die Integration von verschiedenen Servomotoren in einer Maschine sehr einfach. Dank ihres modularen Aufbaus stellen AccurET Positionsregler eine sehr kompakte Lösung dar: - Jeder Regler kann zwei Achsen steuern und ein einziges Netzteil kann für mehrere AccurETs, die an die gleiche DC-Bus-Spannung angeschlossen sind, verwendet werden. - Eine optionale Karte kann in AccurET eingesteckt werden wie z.B. die UltimET Bewegungssteuerung oder die I/O-Karte. - Kein Einschub-Rack wird benötigt, so dass das benötigte Volumen nur von der Anzahl der zu gesteuerten Achsen abhängt. - Eine vereinfachte Leistungs- und Kommunikationsverkabelung sowie die modulare Kühleinheit erleichtern die Installation und Wartung der Maschine. Maschinenkonstrukteure werden dieses Design zu schätzen wissen: kostengünstig, kompakt, schnell integriert und in der Anwendung leicht zu ersetzen. Weitere Informationen finden Sie im Bewegungssteuerungs-Katalog, oder fragen Sie nach dem entsprechenden technischen Handbuch.

Für die anspruchsvollsten Anwendungen entwickelt ETEL eine einzigartige sehr hohe Performance Controller Positionsbereich AccurET VHP genannt. Diese Produktpalette verfügt über spezifische Hard- und Software, die die Leistung maximiert. AccurET VHP-Positions-Controller sind kompatibel mit allen anderen AccurET-Controllern und können zu den anspruchsvollsten Achsen eine mehrachsige Motion-System gewidmet sein. In der Tat ist es die gleiche Architektur wie in der AccurET Modular dezentralisiert. Dies ermöglicht einen wichtigen Bestandteil der Maschine Steuerungssoftware auf der Ebene der Achse befinden. Zusätzlich zu den Vorteilen von ETEL Controllern wie hohe Rechenleistung, schnelle und Echtzeit-Kommunikations-Bus und modernster Steuer-und Regelalgorithmen bietet ETELs VHP Bereich hervorragende Signal-Rausch-Verhältnis. AccurET VHPs sind in Bereichen wie z. B. erfolgreich eingesetzt: Prozess-Steuerung Wafer Inspektion Lithographie Wafer und sterben Ebene Verpackung Prüf-, Steuer- und Ausrüstung

Die UltimET Light Bewegungssteuerung ist der Master auf dem TransnET-Bus und kann bis zu 63 Achsen steuern. Noch bedeutsamer ist, dass die Datenübertragungsleistung unabhängig von der Anzahl der Achsen ist. Um seinen Kunden die Lösung mit dem besten Preis-/Leistungsverhältnis anbieten zu können, entwickelt ETEL zwei Versionen der Bewegungssteuerung: Das UltimET-Light Smart Gateway ist für preissensible Anwendungen konzipiert, die synchronisierte Bewegungen erfordern. Die Version UltimET Light Interpolation eignet sich am besten für interpolierte Bewegungen. UltimET Light bietet verschiedene Möglichkeiten zum Verwalten von Multiachs-Bewegungen, je nach Bedarf: > Bewegungen können entweder synchronisiert oder interpoliert werden: mit Bewegungsprofilen basierend auf G-Code, ULM (Universal Lineare Movements), PVT (Position Velocity Time), PT (Position Time) oder LKT (LooK-up Table). > Erweiterte Kontrollfunktionen, die Slave-to-Slave-Kommunikation zwischen den verschiedenen Positionsreglern erfordern, benötigen eine UltimET als TransnET-Master: - 3D-Mapping ermöglicht die Korrektur von bekannten mechanischen Fehlern eines Bewegungssystems - Beschleunigungsvorsteuerung für Portalaufbauten - usw. Ein WAGO-Gateway-Modul kann an die UltimET-Karte angeschlossen werden und ermöglicht damit die Kommunikation über Modbus TCP und verbindet bis zu 16 analoge Eingänge und 16 analoge Ausgänge sowie 128 digitale Eingänge und 128 digitale Ausgänge. UltimET ist in drei Formfaktoren erhältlich, um eine Anpassung an die OEM-Konfiguration zu ermöglichen: > Die PCI oder PCI Express-Versionen werden in einen PC integriert, was sich sehr gut für Hochgeschwindigkeitsanwendungen eignet, die eine deterministische Kommunikation in Echtzeit erfordern. > Die TCP/IP-Version ist in einen AccurET Positionsregler eingebettet. Diese Konfiguration ist am besten für eigenständige Maschinen geeignet, in denen die Applikation der Bewegungssteuerung weit vom PC entfernt ist, welcher die Gesamtmaschine steuert. Weitere Informationen finden Sie im Bewegungssteuerungs-Katalog, oder fragen Sie nach dem entsprechenden technischen Handbuch.