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ETEL S.A. Produkte

Messgeräte

DXR+ DREHACHSEN
DXR+ DREHACHSEN
DREHACHSEN
ETEL S.A.
Drehtische
DXR+ DREHACHSEN
Das DXR+ ist ein Drehmodul von ETEL, welches ein kompaktes Design, leichte Masse und eine große Hohlwelle aufweist und das richtige Leistungs- zu Kostenverhältnis für mittlere Anwendungen im Halbleiter- und Elektronikbereich bietet.

Das DXR+ bringt wesentliche Verbesserungen hinsichtlich Steifigkeit, welche direkte Auswirkungen auf die Regelbandbreite des XY-Tisches haben, der es unterstützt. Das DXR+ Modul kann von 48 VDC bis zu 300 VDC Busspannung betrieben werden. Es kann von einem AccurET Modular 48 oder 300 betrieben werden oder von einem AccurET VHP für höhere Positionsstabilitäts-Anforderungen.

Wie jedes andere Standard Modul von ETEL (ZT,Z3TH, RTTB), kann das DXR+ auf jede Standard XY Plattform montiert werden. Das DXR+ ist ein Modul mit einem Freiheitsgrad, welches unbegrenzte Drehwinkel ermöglicht. Dennoch, als Option, kann der Verfahrbereich in Winkelsegmenten begrenzt werden, welche ein Vielfaches von ca. 60° sind.

Die Reinraumklasse eines DXR+ reicht unter bestimmten Bedingungen von ISO 5 bis hin zu ISO 1.

Das DXR+ Modul bietet eine richtige Lösung um jede Anwendung zu meistern, die folgendes benötigt:
- Gleichlauf der Bewegung
- Mittlere Genauigkeitsanforderungen (normalerweise 5 µm Rundlauf)
- Positionsstabilität im 100 nm Bereich @ 150 mm Radius

Der Einsatz dieses Moduls ist für folgendens geeignet, aber nicht darauf beschränkt:
- Wafer Prozesskontrolle, Wafer-dicing
- Wafer Strukturierung
- Laser Annealing
- Solarzellen-Herstellung
- etc.

Eigenschaften
- Diameter: 155 mm
- Toothless motor technology (zero cogging) for high speed stability
- Low profile / low mass for high precision applications
- High accuracy non-contact optical encoder
- Unlimited angular travel possibilities
- Large hollow shaft: 44 mm
- Vacuum supply at chuck level
- ISO class 5 clean room compatibility; possibilty to reach ISO class 1

Hauptspezifikationen
- Bidirectional repeatability ±2 arcsec at ±3sigma
- Position accuracy
- down to ±30 arcsec (w/o calibration)
- down to ±3 arcsec after calibration
- Speed up to 400 rpm
- Position stability ±0.2 arcsec
- High speed stability capabilities

Für weitere Informationen fragen Sie nach dem dazugehörigen Integrationshandbuch.
  • DXR+ DREHACHSEN
DYNX DREHACHSEN
DYNX DREHACHSEN
Drehachsen
ETEL S.A.
Drehtische
DYNX DREHACHSEN
Die DynX Rotary-Baureihe ist eine Produktfamilie von hochpräzisen Positionierungsdrehachsen. Mit einer Produktpalette, die über 3 verschiedene Durchmesser verfügt, ist die DynX Rotary-Serie die ideale Standardlösung für alle Anwendungen, bei denen hohe Zuverlässigkeit, hervorragende Genauigkeit, geringer Wartungsaufwand und einfache Integration gefordert sind.
Das DynX Rotary Produkt ist eine perfekte Ergänzung zu den linearen Produkten. Es wird keine Schnittstellenplatte benötigt, um Linear- und Drehachsen zu verbinden; daraus ergibt sich eine kompakte Bauweise und eine sehr steife und präzise gestapelte Lösung. Die Drehachsen sind mit einer zahnlosen Motortechnologie ausgestattet, die eine gleichmäßige Bewegung gewährleistet; dadurch sind sie ideal für Anwendungen geeignet, bei denen es auf hohe Geschwindigkeitsstabilität ankommt. Große Hohlwellen, die die Kabel und Schläuche der Kunden aufnehmen können, sind verfügbar.

Eigenschaften
- 3 verschiedene Durchmesser: 100 / 155 / 225 mm
- Zahnlose Motortechnologie (kein cogging) für hohe Geschwindigkeitsstabilität
- Flacher Aufbau / geringe Masse für hochpräzise Anwendungen
- Hochpräziser berührungsloser optischer Encoder
- Verfahrwinkelbegrenzung möglich von 20° bis 390°
- Große Hohlwelle für maximale Flexibilität
- Winkellineal für die Inbetriebnahme
- Optionen und Zubehör, wie beispielsweise eingeschränkte Hübe, Sperrluft und Verlängerungskabel, verfügbar

Hauptspezifikationen
- Bidirektionale Wiederholgenauigkeit ±1,5 arcsec bei ±3 sigma
- Positionsgenauigkeit
- bis zu ±30 arcsec (ohne Kalibrierung)
- bis zu ±3 arcsec nach Kalibrierung
- Drehzahl bis zu 400min-1
- Positionsstabilität ± 0,2 arcsec
- Hohe Geschwindigkeitsstabilität

Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.
  • DYNX DREHACHSEN
RTTB DREHACHSEN
RTTB DREHACHSEN
Drehachsen
ETEL S.A.
Drehtische
RTTB DREHACHSEN
Die RTTB-Achse ist die erste direkt angetriebene Drehplattform auf dem Markt, die zu Positionsstabilität im Nanometerbereich fähig ist, bei einem Arbeitsdurchmesser von 450 mm. Dies wird möglich durch den beispiellosen hochauflösenden Encoder, der mit einem hervorragenden mechanischen Lager gekoppelt wird.

Dieser Tisch ist besonders gut geeignet für Anwendungen, an die folgende Anforderungen gestellt werden:
- Laufruhige Bewegung, Hochgeschwindigkeitsstabilität, niedriger Schleppfehler
- Ultrahohe Wiederholgenauigkeit
- Sehr gute Positionsgenauigkeit ohne Kalibrierung
- Hervorragende Positionsstabilität
- Exzellenter Planlauf und Rundlauf
- ISO1 Reinraumkompatibel

Hauptspezifikationen
- Bidirektionale Wiederholgenauigkeit ± 0,3 arcsec
- Positionsgenauigkeit ±3 arcsec (ohne Kalibrierung)
- Drehzahl bis zu 60min-1
- Lastkapazität 30 kg

Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.
  • RTTB DREHACHSEN

Sondermesseinrichtungen

AccurET POSITION CONTROLLERS
AccurET POSITION CONTROLLERS
Positionregler
ETEL S.A.
Positionssteuerungen
AccurET POSITION CONTROLLERS
AccurET: Eine Produktfamilie von modularen Hochleistungs-Positionsreglern
AccurET Positionsregler decken eine breite Palette von Spannungs- und Strombereichen in einer kompakten Lösung ab. Dadurch wird die Integration von verschiedenen Servomotoren in einer Maschine sehr einfach.

Dank ihres modularen Aufbaus stellen AccurET Positionsregler eine sehr kompakte Lösung dar:
- Jeder Regler kann zwei Achsen steuern und ein einziges Netzteil kann für mehrere AccurETs, die an die gleiche DC-Bus-Spannung angeschlossen sind, verwendet werden.
- Eine optionale Karte kann in AccurET eingesteckt werden wie z.B. die UltimET Bewegungssteuerung oder die I/O-Karte.
- Kein Einschub-Rack wird benötigt, so dass das benötigte Volumen nur von der Anzahl der zu gesteuerten Achsen abhängt.
- Eine vereinfachte Leistungs- und Kommunikationsverkabelung sowie die modulare Kühleinheit erleichtern die Installation und Wartung der Maschine.

Maschinenkonstrukteure werden dieses Design zu schätzen wissen: kostengünstig, kompakt, schnell integriert und in der Anwendung leicht zu ersetzen.

Weitere Informationen finden Sie im Bewegungssteuerungs-Katalog, oder fragen Sie nach dem entsprechenden technischen Handbuch.
  • AccurET POSITION CONTROLLERS
AccurET VHP - very high performance controllers
AccurET VHP - very high performance controllers
Positionssteuerung
ETEL S.A.
Positionssteuerungen
Für die anspruchsvollsten Anwendungen entwickelt ETEL eine einzigartige sehr hohe Performance Controller Positionsbereich AccurET VHP genannt. Diese Produktpalette verfügt über spezifische Hard- und Software, die die Leistung maximiert. AccurET VHP-Positions-Controller sind kompatibel mit allen anderen AccurET-Controllern und können zu den anspruchsvollsten Achsen eine mehrachsige Motion-System gewidmet sein. In der Tat ist es die gleiche Architektur wie in der AccurET Modular dezentralisiert. Dies ermöglicht einen wichtigen Bestandteil der Maschine Steuerungssoftware auf der Ebene der Achse befinden. Zusätzlich zu den Vorteilen von ETEL Controllern wie hohe Rechenleistung, schnelle und Echtzeit-Kommunikations-Bus und modernster Steuer-und Regelalgorithmen bietet ETELs VHP Bereich hervorragende Signal-Rausch-Verhältnis.

AccurET VHPs sind in Bereichen wie z. B. erfolgreich eingesetzt:

Prozess-Steuerung
Wafer Inspektion Lithographie
Wafer und sterben Ebene Verpackung
Prüf-, Steuer- und Ausrüstung
Diese Beschreibung wurde von Englisch nach Deutsch mit "Bing Translator" übersetzt.
  • AccurET VHP - very high performance controllers
UltimET light BEWEGUNGSSTEUERUNGEN
UltimET light BEWEGUNGSSTEUERUNGEN
Bewegungssteuerung
ETEL S.A.
Positionssteuerungen
Die UltimET Light Bewegungssteuerung ist der Master auf dem TransnET-Bus und kann bis zu 63 Achsen steuern. Noch bedeutsamer ist, dass die Datenübertragungsleistung unabhängig von der Anzahl der Achsen ist.

Um seinen Kunden die Lösung mit dem besten Preis-/Leistungsverhältnis anbieten zu können, entwickelt ETEL zwei Versionen der Bewegungssteuerung: Das UltimET-Light Smart Gateway ist für preissensible Anwendungen konzipiert, die synchronisierte Bewegungen erfordern. Die Version UltimET Light Interpolation eignet sich am besten für interpolierte Bewegungen.

UltimET Light bietet verschiedene Möglichkeiten zum Verwalten von Multiachs-Bewegungen, je nach Bedarf:
> Bewegungen können entweder synchronisiert oder interpoliert werden: mit Bewegungsprofilen basierend auf G-Code, ULM (Universal Lineare Movements), PVT (Position Velocity Time), PT (Position Time) oder LKT (LooK-up Table).
> Erweiterte Kontrollfunktionen, die Slave-to-Slave-Kommunikation zwischen den verschiedenen Positionsreglern erfordern, benötigen eine UltimET als TransnET-Master:
- 3D-Mapping ermöglicht die Korrektur von bekannten mechanischen Fehlern eines Bewegungssystems
- Beschleunigungsvorsteuerung für Portalaufbauten
- usw.

Ein WAGO-Gateway-Modul kann an die UltimET-Karte angeschlossen werden und ermöglicht damit die Kommunikation über Modbus TCP und verbindet bis zu 16 analoge Eingänge und 16 analoge Ausgänge sowie 128 digitale Eingänge und 128 digitale Ausgänge.

UltimET ist in drei Formfaktoren erhältlich, um eine Anpassung an die OEM-Konfiguration zu ermöglichen:
> Die PCI oder PCI Express-Versionen werden in einen PC integriert, was sich sehr gut für Hochgeschwindigkeitsanwendungen eignet, die eine deterministische Kommunikation in Echtzeit erfordern.
> Die TCP/IP-Version ist in einen AccurET Positionsregler eingebettet. Diese Konfiguration ist am besten für eigenständige Maschinen geeignet, in denen die Applikation der Bewegungssteuerung weit vom PC entfernt ist, welcher die Gesamtmaschine steuert.

Weitere Informationen finden Sie im Bewegungssteuerungs-Katalog, oder fragen Sie nach dem entsprechenden technischen Handbuch.
  • UltimET light BEWEGUNGSSTEUERUNGEN
  • UltimET light BEWEGUNGSSTEUERUNGEN