Bei der Lasermikrobearbeitung wird ein Nanosekunden-, Pikosekunden- oder Femtosekundenlaser mit einer Hochgeschwindigkeits- und Hochpräzisions-Scannereinheit kombiniert, die sich mit hoher Geschwindigkeit zum Strahl bewegt. Die meisten Scannerbaugruppen sind 2- oder 3-Achsen-Scanner, aber einige Anwendungen erfordern fortschrittlichere Optionen wie einen 5-Achsen- oder Polygonscanner.
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