Maschinenkomponenten & -zubehör

CHARON2 gestapelte Plattformen Die CHARON2-Plattform basiert auf einer robusten, zuverlässigen und elegant gestapelten Architektur, die nach den Prinzipien der Modularität und Skalierbarkeit entwickelt wurde. Es reicht von einer eigenständigen X-Achse bis hin zu einem kompletten Bewegungssystem mit bis zu 7 Achsen; die Leistung der Datenblätter ist mit unterschiedlicher Elektronikkonfiguration erhältlich. Seine Kompatibilität mit aktuellen und zukünftigen Modulen und Optionen ermöglicht die Abdeckung eines möglichst breiten Anwendungsbereichs und von Anwendungsfällen. Diese flexible, skalierbare, modulare und aufrüstbare Plattform bietet eine Einstiegsebene für alle Halbleiteranwendungen und viele Anwendungsfälle anderer Märkte, z.B. in der Medizin, Pharmazie, Materialwissenschaft und anderen Bereichen. CHARON2 entwickelt sich in allen bedienten Märkten ständig weiter und unterstützt die Verlängerung der Produktlebensdauer der OEMs sowie die Aufrüstungspfade. Mit einem jahrzehntelang erprobten, unterbrechungsfreien Betrieb unter allen Bedingungen und großen Produktionsvolumen dieser Architektur stellt CHARON2 den flexibelsten Einstiegspunkt für schlüsselfertige Bewegungslösungen dar und stellt einen neuen Rekord im Preis-Leistungs-Verhältnis auf. Diese Plattform ist das Ergebnis der erwarteten, abgestimmten und sofort mit einem weiteren optimierten Produkt erfüllten OEM-Anforderungen, wodurch die Integrationskosten der OEMs und die Zeit bis zur Markteinführung reduziert und das Preis-Leistungs-Verhältnis verbessert werden konnten. Die CHARON2-Plattform stellt das breiteste verfügbare Angebot auf dem Markt dar. Seine Positionsgenauigkeit von ±1 µm, gepaart mit einer ausgezeichneten bidirektionalen Wiederholbarkeit und hoher Dynamik, unterstützt die Entwicklung von Anwendungen in allen Technologie- und Industriebereichen. Auf dieser Plattform entstehen Standardproduktkonfigurationen für die sofortige Integration und kundenspezifische Lösungen, die den jeweiligen Leistungsanforderungen gerecht werden. CHARON2 bleibt ein weiteres perfektes Beispiel für die vertikale Integration von ETEL, basierend auf proprietärer IP für Motoren, Elektronik und Steuerungs-Know-how und der Synergie mit HEIDENHAIN, wenn es um die Rückmeldung der Positioniergenauigkeit von Weltklasse geht. Merkmale - Gesamthub : bis zu 650 mm x 410 mm - Verfügbar in 9 Standards x 2 Elektronik = 18 Konfigurationen als Standardprodukte - Kompakte Stellfläche - Nutzlast bis zu 30 kg - Enthaltene Optionen und Funktionen: Schienenpartikelabsaugung (ETEL-Patent), kundenspezifische Signale, pneumatische Leitungen und mehr. - ISO1-Reinraum-Kompatibilität - Tip-Tilt-Korrektur mit dem Kombimodul Z3TM - Eingebaute Vakuumversorgung auf Chuck-Ebene - Kurze Umzugs- und Niederlassungszeiten Translated with DeepL

Die CHARON2HD Plattform ist die hochdynamische Version der bereits bestehenden CHARON2 Familie. Mit der Verwendung spezieller Elektronik Konfigurationen, sind alle Kombinationen, von einer einfachen XY-Anordnung bis hin zu einem kompletten Bewegungssystem mit 7 Achsen verfügbar. CHARON2HD eignet sich aufgrund seiner Kompatibilität mit allen aktuellen und zukünftigen Modulen und Optionen für eine breite Palette von Anwendungen und Anwendungsfällen.

CHARON2HD Familienmitglieder sind mit größeren eisenbehafteten Motoren ausgestattet und stellen die benötigte Leistung bereit, um eine neue Ebene der Dynamik zu erreichen. Die Beschleunigung wurde verdoppelt um 20 m/s2 zu erreichen, während die maximale Geschwindigkeit 2 m/s erreichen kann. Die Montageschnittstellen sind identisch und ermöglichen eine Austauschbarkeit mit der CHARON2 gestapelten Plattform, um einen Upgrade-Pfad zu ermöglichen.

Mit jahrzehntelangem, ununterbrochenem Betrieb unter allen Bedingungen und großen Produktionsmengen dieser Architektur, ist die CHARON2HD der flexibelste und dynamischste Einstiegspunkt für schlüsselfertige Bewegungslösungen und stellt einen neuen Rekord im Preis-Leistungs-Verhältnis auf.

Seine Positionsgenauigkeit von ±1 µm gepaart mit hervorragender bidirektionaler Wiederholbarkeit und hoher Dynamik unterstützt die Entwicklung von Anwendungen in allen Technologie- und Industriebereichen.

CHARON2HD bleibt ein weiteres perfektes Beispiel für ETELs vertikale Integration, basierend auf proprietären IP für Motoren, Elektronik und Steuerungs-Know-how, sowie der Synergie mit HEIDENHAIN wenn es um die Rückführung der Positionierungsgenauigkeit von Weltklasse geht.

Eigenschaften

• Gesamthub : bis zu 475 mm x 410 mm
• Kompakte Stellfläche
• Nutzlast bis zu 30 Kg
• Mitgelieferte Optionen und Features: Schienen Partikelabsaugung, kundenspezifische Signale, Pneumatikleitungen und mehr
• ISO 2 Reinraum kompatibel
• Tip-Tilt-Korrektur mit dem Kombimodul Z3TM+
• Eingebaute Vakuumversorgung auf Chuck-Ebene
• Kurze Bewegungs- und Einschwingzeiten

TELICA ist eine mehrachsige Plattform, die sich hauptsächlich auf Halbleiter-Backend-Anwendungen konzentriert. Seine duale Portalarchitektur ermöglicht Bewegungen entlang von 3 Freiheitsgraden, X, Y und Z, für eine Gesamtzahl von 8 gesteuerten Achsen. Es wurde entwickelt, um die anspruchsvollsten Anforderungen fortschrittlicher Die-Bonding-Prozesse (Flip-Chip, Fan-out, 3D-Stapelgehäuse), µ-LED-Bonden, Dosieranwendungen und mehr zu erfüllen. Konventionelle Bewegungssystemarchitekturen sind durch ihr Design IMMER auf hohe Positioniergenauigkeit oder hohen Durchsatz optimiert. Dank einer sehr innovativen Bewegungssystemarchitektur erfüllt TELICA BEIDE SIMULTAN mit ±1 µm globaler Platzierungsgenauigkeit (Blindbewegung) bei einem Durchsatz von 10 kUPH für eine typische Flip-Chip-Die-Bonding-Anwendung und bis zu 180 kUPH für µ-LED-Bonding. TELICA Doppelportal-Bewegungssystem TELICA ist in zwei Standardvarianten erhältlich: Variante 1 für Wafer Level Packages (WLP) mit X410 x Y445 x Z30 mm Verfahrwegen und Variante 2 für Panel Level Packages (PLP) mit X750 x Y800 x Z30 mm Verfahrwegen. TELICA stellt einen neuen metrologischen Ansatz vor, der die Abbé-Fehler sowie die relative Positionsabweichung zwischen Prozesswerkzeug und Substrat drastisch reduziert. Mehrdimensionale Drehgeber sorgen für die hohe Positioniergenauigkeit, während wassergekühlte Eisenkernmotoren extreme Betriebszyklen ermöglichen. In Verbindung mit den hochmodernen AccurET-Steuerungen von ETEL profitiert die TELICA-Plattform von mehreren Steuerungsfunktionen wie: Nullstellzeit, nichtlineare Steuerung, fortschrittliche Vorwärts- und Trajektorienfilter, vollständige Synchronisation aller Achsen mit Nanosekunden-Jitter, ein spezifischer Gantry-Steuerungsalgorithmus, multidimensionales Mapping, erweiterte Triggerfunktionen basierend auf der realen gemappten Position, fortschrittliche Softwarediagnose und Systemidentifikationswerkzeuge zur Steuerungsoptimierung. Hauptspezifikationen ±350 nm lokale Platzierungsgenauigkeit (bewegt sich mit lokaler Ausrichtung) ±1 µm globale Platzierungsgenauigkeit (Blindbewegungen)

VULCANO2 ist eine Gantry-Stapelachsen-Architektur, die auf einem mechanischen Lager basiert, das mit optischen High-End-Encodern gekoppelt ist. Die Verwendung der bekannten ETEL-Eisenkernmotoren zusammen mit innovativen Konstruktionsprinzipien ermöglicht es, eine hohe Dynamik bei deutlich verbesserter Geometrie und Bewegungsleistung zu erreichen. Mit dem Schwerpunkt auf der Erleichterung von Halbleiteranwendungen ist die Plattform nach wie vor für alle unterschiedlichen Märkte und Bedürfnisse geeignet, die Lösungen für eine höhere Dynamik erfordern; in der Tat zeichnet sich selbst ihre klassenbeste Grundfläche durch eine Maximierung des Gesamtnutzenversprechens der Cost of Ownership aus. Kunden, die einen höheren Durchsatz, höhere Arbeitszyklen oder schwerere Nutzlasten ohne Verlust an Wiederholbarkeit oder Genauigkeit erreichen wollen, können getrost einen Standard-VULCANO2 oder eine davon abgeleitete kundenspezifische Lösung einsetzen. VULCANO2 stellt auch eine perfekte Lösung für alle Anwendungsfälle dar, bei denen Dynamik, Arbeitszyklen und Nutzlasten nicht so streng sind, obwohl die Positionierungsgenauigkeit über sehr lange Zeiträume hinweg gewährleistet sein muss: Die Lieferung einer mehrstündigen Navigationsgenauigkeit auf U-Ebene ist kein Traum mehr, sondern eine solide Realität dieses neuen Angebots von ETEL. Die Nutzung dieser Plattform ist geeignet, aber nicht beschränkt auf: - Waferprozesskontrollanwendungen wie Overlay-Messtechnik, kritische - Dimensions- und Dünnschichtmesstechnik - Backend: Flip-Chip-Prozesse auf großen Platten/Substraten Merkmale - Kompakte Stellfläche - Nutzlast bis zu 80 kg - Positionsstabilität im Nanometerbereich - Hohe Dynamik - Hervorragende bidirektionale Wiederholgenauigkeit und Positionsstabilität - ISO 2 Reinraum-Kompatibilität Translated with DeepL

Die Z3TM erweitert das Portfolio an Modulen für Bewegungsplattformen. Dieses Modul fügt vier unabhängige Freiheitsgrade hinzu, nämlich entlang einer Dreh-, einer Vertikal- und zwei Schrägachsen. Dieses optionale Modul ermöglicht die vollständige Erfüllung von Wafer-Bewegungsprofilen für fortschrittliche Halbleiteranwendungen und bietet OEMs damit eine schlüsselfertige Lösung für jede Halbleitertechnologie. Die Kompaktheit des Produkts stellt eine Rekord-Dichte in Bezug auf die Anzahl der Funktionen pro Volumen dar, während seine Leistung neue Marktstandards für die Genauigkeit und Dynamik auf Wafer-Ebene setzt. Der Z3TM ermöglicht OEMs die Migration von teuren und veralteten piezoelektrischen Lösungen, beseitigt ihre Hystereseprobleme und unterstützt gleichzeitig Auflösung, Genauigkeit und Wiederholbarkeit im Nanometerbereich bei noch höherer Dynamik. Mit eingebetteter Unterstützung für die korrekte Probenausrichtung ermöglicht das Modul dann eine weitere Kontrolle der Wafer-Planarität in Bezug auf die Geräteköpfe durch seine zusätzlichen "Spitzen-" und "Kipp"-Achsen. Diese einzigartige Funktionalität ermöglicht Anwendern eine nächste Stufe der Prozesskontrolle, z.B. Planarität, nominaler Einfallswinkel (AOI), Geradheit der Brennebene und viele andere, die alle zu einer beispiellosen Möglichkeit führen, die Leistung auf Wafer-Ebene durch die OEM-Technik zu erreichen. Heutzutage vereinfachen die Anwender nicht nur ihre Konstruktionsbemühungen für eine höhere Präzision, sondern erzielen darüber hinaus eine drastische Reduzierung der Gerätekomplexität, der Zuverlässigkeit, des Integrationsaufwands und der Gesamtkosten und ermöglichen so eine wesentlich schnellere Markteinführung bei einem verbesserten Preis-Leistungs-Verhältnis. Die Ergänzung Z3TM ist das Ergebnis kontinuierlicher Innovation und vertikaler Integration von ETEL, basierend auf proprietärer IP für Motoren, Elektronik und Steuerungs-Know-how, sowie der Synergie mit HEIDENHAIN, wenn es um Positioniergenauigkeits-Feedback von Weltklasse geht. Merkmale - Unendliche Theta-Rotation - Kipp- und Neigungskorrektur über ±0,08° zur Nivellierung und zur Verbesserung von Bewegung und Setzung - Vakuumdurchführung bis zur Spannfutterebene - Kompatibilität mit Reinräumen der ISO-Klasse 2 - Rundlauffehler von ±3,5 µm Translated with DeepL

Das Z3TM+ erweitert das Portfolio von Modulen für die Bewegungsplattformen. Dieses Modul fügt vier unabhängige Freiheitsgrade hinzu, nämlich Tip, Tilt, Theta und Z-Achsen, eingebettet in eine vergrößerte Theta Hohwelle. Eine Konfiguration umfasst eine Z-Achse, die nun eine doppelt gestapelte Z-Achse bietet; eine Genaue (FZ) und eine Grobe (CZ). Der Aufbau, dieses optionalen Moduls, ermöglicht eine vollständige Erfüllung von Bewegungsprofilen des Wafers für fortgeschrittene Halbleiteranwendungen, dadurch werden OEMs mit einer schlüsselfertigen Lösung für jede Halbleitertechnologie versorgt. Die Produktkompaktheit stellt eine Rekorddichte in Bezug auf die Anzahl der Funktionen pro Volumen her, während seine Leistung neue Marktstandards an Genauigkeiten und Dynamik auf Waferebene setzt.

Die auf flexiblen Elementen basierende genaue Z-Achse des Z3TM+ ermöglicht OEMs die Migration von teuren und veralteten piezoelektrischen Lösungen, sowie Beseitigung derer Hystereseprobleme bei gleichzeitiger Unterstützung der Auflösung im Nanometerbereich, Genauigkeit und Wiederholbarkeit, bei noch höherer Dynamik. Mit integrierter Unterstützung für die korrekte Probenausrichtung und mit Hilfe seiner zusätzlichen “Tip” und “Tilt” Achsen, ermöglicht das Modul dann eine weitere Ausregelung der Ebenheits des Wafers, in Bezug auf die Anlagenköpfe. Diese einzigartige Funktionalität ermöglicht Nutzern eine Prozesskontrolle auf nächst höherem Niveau, für beispielweise Ebenheit, nominalem Einfallswinkel (AOI), Geradheit der Fokusebene und vieles mehr. All dies führt zu einer beispiellosen Möglichkeit, mit OEM Technik Leistung auf Wafer-Ebene zu erzielen. Heute vereinfachen die Anwender nicht nur ihren Konstruktionsaufwand für eine höhere Präzision, sondern erzielen darüber hinaus drastische Verringerungen der Anlagenkomplexität, Zuverlässigkeit, dem Integrationsaufwand und der Gesamtkosten. Dies ermöglicht eine wesentlich schnellere Markteinführung bei einem besseren Preis-Leistungs-Verhältnis.

Das Z3TM+ als Zusatz stammt von ETELs kontinuierlicher Innovation und vertikaler Integration, basierend auf eigener IP für Motoren, Elektronik und Steuerungs-Know-how, sowie der Synergie mit HEIDENHAIN wenn es um die Rückführung der Positionierungsgenauigkeit von Weltklasse geht.

Diese Plattform, Metis, ist eine planare Hybrid-Plattform, mit mechanischen und Luftlagern, die für Step-and-Scan-Anwendungen konzipiert ist. Es handelt sich um eine 6-Achsen-Plattform, die sich in X-, Y-, Z- und Theta-Richtung bewegt. Dynamische Ebenheit über die gesamte Bahn sowie bidirektionale Wiederholgenauigkeit sind die wichtigsten Parameter. Diese Plattform wird derzeit eingesetzt in: - Anwendungen in der Wafer-Prozesskontrolle wie Critical Dimension und Dünnschichtmesstechnik. - Strukturieren von Wafern - Lasergestütze Wärmebehandlung von Wafern Sie kann auch in Back-End of Line Lithographie-Maschinen (Mask Aligner) und für einige Wafer-Vereinzelungsanwendungen verwendet werden. Diese Plattform verfügt über: - Eine Ebenheit der Bewegung durch das Luftlager - Unbegrenzte Drehung in Theta - Doppelte Z-Integration: Grobe Bewegungen zum Be-/Entladen und feine Bewegungen zur Feinfokussierung - Eingebauter Gewichtsausgleich in Z (Patent angemeldet) - Die Gierkorrektur kann durch leichtes Verschieben der Y1- und Y2-Motoren durchgeführt werden - Weitere Integration mit einem vollständig von ETEL gesteuerten Active-Isolation-System möglich - Hübe in X und Y können mit einigen Beschränkungen hinsichtlich der Leistung auch verlängert werden Hauptspezifikationen - Gesamter Hub: 321 mm für XY x 12 mm für Z - Geschwindigkeit: 1,2 m/s für XY, 0,1 m/s für Z und 15,7 rad/s für T - Beschleunigung: 1,2 g für XY, 0,2 g für Z und 104,7 rad/s 2 für T - Positionsstabilität: ±25 nm für XY, ±15 nm für Z und ±0.2 arcsec für T - Bidirektionale Wiederholgenauigkeit: ±0,4 µm für XY, ±0.3 µm für Z und ±2 arcsec für T Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.

Das Vulcano XY ist ein System bestehend aus drei Teilen, welches eine kompakte und kostengünstige Lösung ermöglicht, verbunden mit mechanischen Lagern und hochwertigen optischen Encodern. Die Grundplatte der unteren Achsen (Y1 & Y2) ist aufgebaut aus 2 eisenbehafteten Linearmotoren, die bei Verwendung von AccurET Reglern im Portal (Gantry) Modus gesteuert werden, um eine bessere Wiederholgenauigkeit und optimale Regeleigenschaften zu erzielen. Die obere Achse (X) besteht aus einem einzelnen eisenbehafteten Linearmotor. Der Einsatz von einsenbehafteter Technologie bietet eine hohe Kraftdichte, aus der sich eine hohe Beschleunigung und Geschwindigkeit ergibt, während die Betriebstemperatur eher in einem niedrigeren Bereich bleibt. Die Grundplatte der oberen Achse (X), welche ebenfalls die Motoren der unteren Achsen (Y1 & Y2) halten, besteht wegen Gewichtsoptimierung und Dynamik aus Aluminium. Die Wärmeausdehnung wird durch biegsame Elemente geregelt. Es gibt 3 Linearführungen auf der unteren Platte. Die beiden äußeren Linearführungen, welche sich auf der Grundplatte des VULCANO befinden, sind Kungelumlaufführungen während der innere Schlitten (in der Mitte der Grundplatte angebracht) aus einer Rollenumlaufführung besteht. Die Entkopplung zwischen den 3 Schlitten wird durch biegsame Elemente durchgeführt. Einige dieser Elemente, welche am Führungswagen der äußeren Schlitten angebracht sind, erlauben eine Translation in X Richtung. Einige andere Elemente, die an der mittleren Führungsschiene angebracht sind, erlauben eine Rotation um die vertikale Richtung. In die obere Achse (X) sind 2 Linearführungen eingebaut. Die Entkopplung wird ebenfalls durch ein weiteres Set an biegsamen Elementen erzielt, welches eine Translation in Y Richtung für eine der Schienen ermöglicht. Die Nutzung dieser Plattform ist geeignet, aber nicht begrenzt für: - Wafer-Prozess-Kontroll Applikationen, wie z.B. Overlay Metrologie, "Critical Dimension" und Thin film Metrologie. - Back-end: spezielle Flip-Chip Prozesse welche auf großen Elementen/Substraten ausgeführt werden Eigenschaften - Kompakte Grundfläche - Nanometer Positionsstabilität - kurze Bewegungs- und Einschwingzeiten - hohe Dynamik - hohe bidirektionale Wiederholgenauigkeit - hohe Positionsstabilität - ISO class 1 Reinraumkompatibilität Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.

Die Vulcano XYT Plattform besteht aus dem Standard Vulcano XY, ausgestattet mit dem RTTB Drehmodul, welches einen hochauflösenden Encoder beinhaltet, angebunden an ein hervorragendes mechanisches Lager. Die Nutzung dieser Plattform ist geeignet aber nicht begrenzt für: - Wafer-Prozess-Kontroll Applikationen, wie z.B. Overlay Metrologie, " Critical Dimension" und Thin film Metrologie. - Back-end: spezielle Flip-Chip Prozesse welche auf großen Elementen/Substraten ausgeführt werden. Eigenschaften - kompakte Grundfläche - Nanometer Poitionsstabilität - kurze Bewegungs- und Einschwingzeiten - hohe Dynamik - hohe bidirektionale Wiederholgenauigkeit - hohe Positionsstabilität - ISO class 1 Reinraumkompatibilität Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.

Die Vulcano XYZ3TH Plattform ist die Erweiterung des Standard Vulcano XY Systems, ausgestattet mit dem kombinierten Z3TH Modul. Dieses 4 Freiheitsgrade-Modul, ermöglicht eine 364° Theta Drehbewegung, doppelte Z-Achsen, ein Grobe Achse zur Wafer Be- und Entladung und genaue Achse zur Fokuseinstellung, sowie eine Kipp- und Neige-Korrektur von ±0,1°. Besonderheiten - kompakte Grundfläche - Nanometer Positionsstabilität - hohe Dynamik: 2,5g, 1,5 m/s - geringe Bewegungs- und Einschwingzeiten - ISO1 Reinraumkompatibilität - Kipp-Neige-Korrektur von ±0.1° - doppelte Z Integration - eingebauter Gewichtsausgleich in Z - hervorragende Z Geradheit - verbesserte Z Wiederholgenauigkeit und Jitter - Möglichkeiten um die Ebenheit des Systems zu korrigieren - eingebauter Vakuum-Anschluss an der Aufnahmevorrichtung Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.

Das Z3TH kombinierte Modul erweitert die Modulmöglichkeiten, welche oben auf bestehenden XY Plattformen sitzen können. Das Z3TH Modul, mit 4 Freiheitsgraden, ermöglicht eine 364° Theta Drehbewegung, doppelte Z-Achsen, eine Grobe für Waferbe- und Entladung und eine Genaue für Fokuseinstellung, sowie eine Kipp- und Neige-Korrektur von ±0,1°. Dieses Z3TH Modul ist eine gute Alternative zu Piezo basierenden Z Aktuatoren in dem es Hystereseeffekte und Nicht-Linearitäten im offenen Regelkreis beseitigt, während es einen besseren Schleppfehler in der Bewegung, sowie Wiederholgenauigkeit und ein verbesssertes Bewegungs- und Einschwingverhalten über einen noch längeren Verfahrweg bietet. Das Z3TH Modul ist in erster Linie für Applikationen im Bereich Front-End geeignet und bietet die richtige Lösung um alle Applikationen zu bewältigen, die folgendes erfordern: - Ausrichtung zwischen einem Prozesswerkzeug und dem Substrat - Erfassung / Korrektur der Ebenheit - Verbesserung des Bewegungs- und Einschwingverhaltens Bereits bestehende Applikationen sind dem Bereich der Back-End Lithographie und Wafer Prozessüberwachung zuzuordnen. Eigenschaften - 364° Theta Drehbewegung - Kipp- und Neige-Korrektur von ±0.1° zur Nivellierung und für die Verbesserung des Bewegungs- und - Einschwingverhaltens - Vakuumdurchführung bis zur Aufnahmevorrichtung - Doppelte Z Integration: Grobe Achse für Be- und Entladung und genaue Achse zur Fokuseinstellung - ISO Klasse 1, Reinraumkompatibilität - Geringer Rund- und Planlauffehler von ±1 µm Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.

Die ZT Box ist ein Modul, das zwei Freiheitsgrade in Z und Theta, innerhalb einer einzelnen Einheit kombinitert. Es sind zwei Antriebe möglich entlang der Z Richting, ein Grober und ein Genauer. Dieses Modul kann im Standalone-Modus oder oben auf der XY Plattform angebracht, verwendet werden. Dieses Modul ist besonders geeignet für Wafer Kontrollprozesse wie z.B. Dünnschicht-Messtechnik, kritische Maße, etc. Eigenschaften - Endlose Drehbewegung - Eingebaute Vakuumversorgung bis zur Ebene der Wafer-Aufnahmevorrichtung - Eingebauter Gewichtskraft-Ausgleich - ISO1 Reinraum kompatibel dank Vakuumabsaugung - Grobe Z Achse mit 12 mm Hub für Wafer Laden/Entladen und genaue Z Achse mit 4 mm Hub zur Fokuseinstellung - Version ohne grobe Z Achse möglich - Sehr kleiner Z Jitter sowie gutes Bewegungs- und Einschwingverhalten Hauptspezifikationen - Bidirektionale Wiederholgenauigkeit: ±0,3 µm für Z und ±2 arcsec für T - Positionsgenauigkeit: ±0,6 µm für Z und ±30 arcsec für T - Geschwindigkeiten: 0,1 m/s für Z und 15,7 rad/s für T - Beschleunigung bis zu: 0,2 g für Z und 104,7 rad/s² für T - Positionsstabilität: ±5 nm für Z und ±0,2 arcsec für T - Lastkapazität: 1 kg Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.

Eine neue Lösung zur Schwingungsisolation Das QuiET aktive Isolationssystem, ist ein neues Modul das beides beseitigt, systembedingte und (Fuß)-bodenbedingte Schwingungen in allen 6 Freiheitsgraden (6 DOF). Es hindert diese daran, Prozesse zu stören die auf der Bewegungsplattform stattfinden. Meistens, integrieren High-End Anwendungen in der Halbleiterindustrie komplexe Prozessaufbauten, welche auf die eine oder andere Weise mit dem Granit der Bewegungsplattform verbunden ist. Als solches, überträgt sich jede Schwingung auf der Granitebene in Ungenauigkeiten und längere Einschwingzeiten auf der Prozessebene. Dank ETELs Lösung, war es nie zuvor so effizient wie jetzt, diese Schwingungen los zu werden! Die Bewegungs-Perfomance auf die nächste Ebene bringen! Die QuiET Reihe bringt ETELs fortschrittliche Integrations-Strategie einen Schritt weiter. Von nun an, beinhaltet die hochentwickelte Bewegungsplattform nicht nur das zukunftsweisende Bewegungssystem und die dazugehörigen State-of-the-Art Motion Controller, sondern können auch von ETELs firmeneigenem aktiven Isolationsmodul profotieren. Dies macht ETEL zum einzigen Bewegungssystem-Lieferanten der so einen breiten Lieferumfang abdecken kann! Dank eines patentrechtlich geschützten, geräuscharmen Sensors und einer gleichartigen, vollständig digitalen und deterministischen Bewegungsarchitektur, basierend auf 1 Gb TransnET, reduziert ETEL Bewegungs- und Einschwingzeiten bis zu beisspiellosen Werten. Mit einer Genauigkeit der Beschleunigungsvorsteuerung die mehr als 99% erreicht, verbleibt weniger als 1% der Energie, die das Bewegungsystem auf der Granitebene erzeugt. Die Granitmasse auf dem aktiven Isolationssystem kann daher klein gehalten werden, was wiederum die gesamte Anlage und die Masse reduziert, während die Prozesswerkzeuge direkt von einer ruhigeren Umgebung profitieren. Modular, skalierbar und wartbar Die QuiET Reihe wurde konzipiert um höchst modular und skalierbar zu sein. Dank einer Liste von vorausgewählten aktiven und passiven Komponenten, kann ETEL sehr schnell die optimierte Lösung finden die Ihre Anforderungen erfüllt! Federelemente, Lorentz Stellantriebe und herstellerspezifische Sensoren sind eingebettet in einer Art Sandwich basierten Architektur, die dann kundenspezifisch ist, um jegliche Systemanforderungen zu erfüllen und die Wartbarkeit im Feld zu vereinfachen. Die Controller des QuieET Moduls und die der Bewegungsplattform sind alle Standard AccurET Controller und können im selben Baugruppenträger oder Schaltschrank platziert werden. Inbetriebnahme Programm Eine benutzerfreundliche grafische Oberfläche ist verfügbar. Sie ist konform mit jeglicher Art der Systemkonfiguration und beinhaltet: - Automatische Einstellung der Vorsteuerungsparameter - Identifikation des Systems - Integrierte Abgleichmöglichkeiten

Nach jahrzehntelanger, weltweiter Präsenz in der Werkzeugmaschinenindustrie mit markführenden Torque-Motoren, stellt ETEL nun den neuen TMB+ Motor vor. Der TMB+ Motor ist eine Weiterentwicklung des bekannten TMB Torque-Motors. Er bietet eine Kombination aus erhöhter Leistung und neuen Eigenschaften, während er zugleich die Schnittstellen der bereits existierenden Motoren unterstützt. In der Tat wurde die Drehmomentdichte des TMB+ um bis zu 20% erhöht, bei genau gleicher Baugröße und reduziertem Leistungsverlust um bis zu 30%. Der Geschwindigkeitsbereich wurde ebenfalls erheblich erweitert. Der TMB+ ermöglicht eine verbesserte Maschinenleistung und lässt zu, dass neue Prozesse in bereits existierenden Maschinen erreicht werden können, ohne Änderungen in der Konstruktion vorzunehmen. Mit seinem hervorragendem Leistungsniveau gewährt der TMB+ mehr Applikationen den Zutritt zur Direktantriebstechnologie, und hält zugleich die Qualität und Verlässlichkeit auf höchstem Niveau bei reduzierten Betriebskosten. Alle TMB+ Varianten sind mit einem optionalen Kühlmantel erhältlich. Er besteht aus einer präzise montierten Metallummantelung, welche die Wasserdichtigkeit sicherstellt und exakt die gleiche Motorleistung garantiert wie bei der herkömmlichen "offenen Kühlung". Es gibt zwei verschiedene Kühlmantel-Typen die für jedes Maschinenkonzept geeignet sind: radialer oder axialer Wasserein- und Auslass. Eigenschaften - Mehr als 60 Standardgrößen verfügbar - Aktive Länge bis zu 200 mm - Vier verschiedene Wicklungen pro Durchmesser - Offene oder geschlossene Kühlvarianten - Nickelbeschichtung an Stator und Rotor - Wasserkühlkanäle - 600 VDC Bus Spannung - Sehr hohe Dauerdrehmomentdichte - Hoher Spitzendrehmoment - Niedrige Drehmomentwelle - Kompatibel mit IMTHP Modul für exakte Temperaturüberwachung Hauptspezifikationen - Außendurchmesser bis zu 1.290 mm - Große Hohlwelle bis zu 1.070 mm - Spitzendrehmoment bis zu 42.900 Nm - Beschleunigung bis zu 4.590 rpm Weitere Informationen finden Sie in den entsprechenden Spezifikationen und dem Katalog, oder fragen Sie nach dem Handbuch für Torquemotoren .

Die TMK-Torquemotorreihe ist eine einzigartige Entwicklung, die den Arbeitsbereich von Torquemotoren in der Branche neu definiert. Die fortschrittliche elektromagnetische Konstruktion von TMK-Motoren ermöglicht es ihnen, Geschwindigkeitsstufen zu erreichen, die bei Torquemotoren nicht zu erwarten waren. Bei TMK-Motoren kann der maximale Geschwindigkeitsbereich das 8-fache der Geschwindigkeit herkömmlicher Drehmomentmotoren ähnlicher Größe erreichen. Außerdem sind die Dauer- und Spitzendrehmomente größer als bei Torquemotoren ähnlicher Größe. Als solches ist TMK eine einzigartige, revolutionäre Entwicklung, welche die Definition von "Hochgeschwindigkeit" im Bereich der Torquemotoren drastisch verändert. Eigenschaften - 24 Standard-Modelle verfügbar - Größeres Drehmoment und höhere Drehzahl im Vergleich zu klassischen Torquemotoren - Große Robustheit des Motors (vollständig gekapselte Magnete) - Sehr hohes Spitzendrehmoment - TMK-Stator (bis zu Ø 530 mm) kompatibel mit der mechanischen Schnittstelle der TMB-Serie - Wasserkühlkanäle - Busspannung 600 VDC - Sehr hohes Spitzendrehmoment - Dauerdrehmoment im Vergleich zum TMB um bis zu 30% erhöht - Im Vergleich zum TMB ist die Geschwindigkeit bis um das 8-fache erhöht - Feldschwächungskonform - Kompatibel mit dem IMTHP-Modul für genaue Temperaturregelung - Niedrige Drehmomentwelligkeit Hauptspezifikationen - Außendurchmesser bis zu 1.050 mm - Große Hohlwelle bis zu 800 mm - Spitzendrehmoment bis zu 20.800 Nm - Drehzahl bis zu 5.450 min-1 Weitere Informationen finden Sie in den entsprechenden Spezifikationen und dem Katalog, oder fragen Sie nach dem Handbuch für Torquemotoren .

Der TML-Torquemotor ist eine leichtere und günstigere Version des bekannten TMB-Motors. Dieses Motorenprogramm ist perfekt geeignet für Anwendungen, die das dynamische Leistungsniveau eines Direktantrieb-Torquemotors erfordern, aber geringere Ansprüche an das Dauerdrehmoment stellen. TML wird für Anwendungen, in denen keine Wasserkühlung benötigt wird, genutzt. TML-Motoren haben spezielle Befestigungslaschen, um den Einbau in die endgültige Maschinenstruktur zu erleichtern. Eigenschaften - 25 Standardmodelle verfügbar - Kostengünstig - Keine Wasserkühlungsoption - Busspannung 600 VDC - Sehr hohes Spitzendrehmoment - Kompatibel mit dem IMTHP-Modul für genaue Temperaturregelung - Niedrige Drehmomentwelligkeit Hauptspezifikationen - Außendurchmesser bis zu 581 mm - Große Hohlwelle bis zu 420 mm - Spitzendrehmoment bis zu 4.990 Nm - Drehzahl bis zu 1.000 min-1 Weitere Informationen finden Sie in den entsprechenden Spezifikationen und dem Katalog, oder fragen Sie nach dem Handbuch für Torquemotoren .

Der TMM-Torquemotor von ETEL ist eine leichtere und günstigere Version des bekannten TMB-Motors. Dieses Motorenprogramm ist perfekt geeignet für Anwendungen, die das dynamische Leistungsniveau eines Direktantrieb-Torquemotors erfordern, aber geringere Ansprüche an das Dauerdrehmoment stellen. TMM wird für Anwendungen, in denen keine Wasserkühlung benötigt wird, genutzt. TMM-Motoren sind so konzipiert, dass sie direkt in die endgültige Maschinenstruktur eingeklebt werden können. Eigenschaften - 25 Standardmodelle verfügbar - Kostengünstig - Keine Wasserkühlungsoption - Busspannung 600 VDC - Sehr hohes Spitzendrehmoment - Kompatibel mit dem IMTHP-Modul für genaue Temperaturregelung - Niedrige Drehmomentwelligkeit Hauptspezifikationen - Außendurchmesser bis zu 530 mm - Große Hohlwelle bis zu 420 mm - Spitzendrehmoment bis zu 4.990 Nm - Drehzahl bis zu 2.600 min-1 Weitere Informationen finden Sie in den entsprechenden Spezifikationen und dem Katalog, oder fragen Sie nach dem Handbuch für Torquemotoren .

Der AQUARIUS ST ist die neue Generation von ETELs Kurzhubantrieben, die hauptsächlich auf "Test & Scan" Anwendungen in Rundtaktmaschinen ausgerichtet sind. Im Vergleich zu seinem Vorgänger, dem AQUARIUS Antrieb, ermöglicht die ST Serie eine höhere Wiederholgenauigkeit bei der Kraftregelung und einen höheren Durchsatz, wodurch sie die endgültigen Betriebskosten der Maschine reduziert. In dieser Applikation sind kurze Bewegungs- und Einschwingzeiten, sowie eine ruckfreie Kraftbegrenzung bei geringer Kraft Schlüsselparameter, die nun mit weniger Kompromissen erfüllt werden können. Die ST Version wurde mechanisch optimiert, mit vollständig symmetrischen und ausgeglichenem Design, um ein langfristiges Reibungsverhalten zu garantieren. Dieses Design vermeidet unerwünschte Bewegungs- und Einschwingverhalten. Die AQUARIUS ST kann dann mit kleineren Nennkräften bis zu 0.5 N zurechtkommen, die Kraftgenauigkeit verbessern, drastisch die Kraftüberschwinger verringern und die Beschleunigung steigern. Beides, Meßgerät- und Leistungsstecker sind am Ende der Kabel angebracht und kompatibel mit dem AccurET Modular 48 Positionsregler. Die Nutzung dieses Kurzhubantriebs ist hauptsächlich ausgerichtet auf die "Endtests" in Rundtaktmaschinen der Halbleiter-Backend Industrie. Es wird die Handhabung von Halbleiterelementen verbessern, in Prozessen wie: Pick- und Place von Bauteilen aus Verpackungen wie "Trays", "Tubes", "Tapes" oder "Zuführeinheiten", sowie "den Transport vom/zum Bestückungsplatz", "Kontaktierungstests", "Visuelle Inspektion" und "Laser Markierung". Die ST Version erhöht nicht nur das Leistungsversprechen der Maschinenhersteller der Kunden, sondern kombiniert mit unserer Elektronik und spezifischer Software stellt sie sicher, dass die hergestellten Chips stressfrei ordnungsgemäß getestet und validiert werden.

Die TBS ist eine hochpräzise Linearachse mit einem Freiheitsgrad von 1 Grad. Es handelt sich um eine mechanisch gelagerte Linearachse mit indirektem Antrieb, die in ihrer Kategorie hervorragende Leistungen in Bezug auf Genauigkeit und Präzision bietet. Die Achse wird von einem Hochleistungs-Servomotor mit geringem Rastmoment gesteuert und verwendet ein duales Encoder-Regelsystem, das nicht nur eine hervorragende Leistung bietet, sondern auch die Inbetriebnahme vereinfacht. Translated with DeepL

Der TUCANA ST ist die neue Generation von ETELs Kurzhubantrieben, die hauptsächlich auf "Test & Scan" Anwendungen in Rundtaktmaschinen ausgerichtet sind. Im Vergleich zu seinem Vorgänger, dem TUCANA Antrieb, ermöglicht die ST Serie eine höhere Wiederholgenauigkeit bei der Kraftregelung und einen höheren Durchsatz, wodurch sie die endgültigen Betriebskosten der Maschine reduziert. In dieser Applikation sind kurze Bewegungs- und Einschwingzeiten, sowie eine ruckfreie Kraftbegrenzung bei geringer Kraft Schlüsselparameter, die nun mit weniger Kompromissen erfüllt werden können. Die ST Version wurde mechanisch optimiert, mit vollständig symmetrischen und ausgeglichenem Design, um ein langfristiges Reibungsverhalten zu garantieren. Dieses Design vermeidet unerwünschte Bewegungs- und Einschwingverhalten. Die TUCANA ST kann dann mit kleineren Nennkräften bis zu 0.5 N zurechtkommen, die Kraftgenauigkeit verbessern, drastisch die Kraftüberschwinger verringern und die Beschleunigung steigern. Beides, Meßgerät- und Leistungsstecker sind am Ende der Kabel angebracht und kompatibel mit dem AccurET Modular 48 Positionsregler. Die Nutzung dieses Kurzhubantriebs ist hauptsächlich ausgerichtet auf die "Endtests" in Rundtaktmaschinen der Halbleiter-Backend Industrie. Es wird die Handhabung von Halbleiterelementen verbessern, in Prozessen wie: Pick- und Place von Bauteilen aus Verpackungen wie "Trays", "Tubes", "Tapes" oder "Zuführeinheiten", sowie "den Transport vom/zum Bestückungsplatz", "Kontaktierungstests", "Visuelle Inspektion" und "Laser Markierung". Die ST Version erhöht nicht nur das Leistungsversprechen der Maschinenhersteller der Kunden, sondern kombiniert mit unserer Elektronik und spezifischer Software stellt sie sicher, dass die hergestellten Chips stressfrei ordnungsgemäß getestet und validiert werden.

Dieser Antrieb, AQUARIUS, kann in allen Anwendungen genutzt werden, bei denen Kraft, Durchsatz, hohe Lebensdauer und Zuverlässigkeit erforderlich sind, und das mit einem kleinen Formfaktor. Er erfüllt üblicherweise die Anforderung einer unabhängigen Z-Achse für Prüfanwendungen. Wichtigste Merkmale - Gesamter Hub: 11,4 mm - Spitzenkraft: 120 N - Dauerkraft: 29,5 N - Geschwindigkeit bis zu 1 m/s - Beschleunigung bis zu 30 g Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.

Dieser Antrieb, Tucana, kann genutzt werden, in allen Anwendungen, bei denen Kraft, Durchsatz, hohe Lebensdauer und Zuverlässigkeit erforderlich sind, und das mit einem kleinen Formfaktor. Er erfüllt üblicherweise die Anforderung einer unabhängigen Z-Achse für Prüfanwendungen. Hauptspezifikationen > Gesamter Hub: 10,7 mm > Spitzenkraft: 29 N > Dauerkraft: 11,5 N > Geschwindigkeit bis zu 1 m/s > Beschleunigung bis zu 30 g Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.

Die RTMB+ ist eine Familie von hochpräzisen Rundschalttischen, die mit 2 verschiedenen Durchmessern, aktiven Längen und Wicklungen pro Größe angeboten werden. Durch die Integration von ETEL TMB+ Torquemotoren mit Direktantrieb profitiert der RTMB+ von der besten Motorkonstante auf dem Markt (Nm/?W), die eine sehr hohe Beschleunigung während der Indexierung bei geringer Verlustleistung ermöglicht. Translated with DeepL

Die RTMBi Reihe ist eine Familie von hochpräzisen Rundschalttischen, die in 5 verschieden aktiven Längen angeboten wird. In dem man ETEL Direktantriebs-Torque-Motoren integriert, profitiert die RTMBi Reihe von der besten Motorkonstanten auf dem Markt (Nm/?W), welche sehr hohe Beschleunigungen während der Indexierung mit geringer Verlustleistung ermöglicht. Die RTMBi Reihe ist die ideale Standardlösung für alle Anwendungen wo hohe Zuverlässigkeit und kurze Schaltzeiten benötigt werden. Diese äußerst zuverlässige Direktantriebslösung ermöglicht hohe Arbeitszyklen, hohe Dynamik, herausragende Genauigkeit, geringen Wartungsaufwand und einfache Integration. Eine einzigartige Lösung der Encoderlagerung, bietet der RTMBi Reihe das Drehmoment zu Bauraum Verhältnis auf dem Markt. Eine optimierte Größe der Hohlwelle ist verfügbar, um die Kundenkabel und -Schläuche aufzunehmen. Einzeln verwendet oder verbunden mit ETELs kraftgesteuerten Kurzhubantrieben und AccurET Controllern, ist der RTMBi die perfekte Lösung für Anwendungen in der Backend-Halbleiterfertigung, Elektronik, Automation oder Drucken, wie z.B. MEMS Tester, die bonder, pick und place Tester, Rundtakt Tester und mehr! Eigenschaften - Drehtische für hochdynamische Indexierungssanwendungen - 5 verschiedene Höhen - Hohes Drehmoment-Höhen-Verhältnis - Hohe Dynamik-Fähigkeiten - Große Hohlwelle für maximale Flexibilität - Die TMB-Torquemotortechnologie bietet ein hohes Drehmoment - Semi S22 kompatibel. RTMBi im Vergleich zu RTMB - Dauerdrehmoment um bis zu 20% verbessert - Spitzendrehmoment um bis zu 8.5% verbessert - Massenträgheit um bis zu 20% reduziert - 600 VDC Kompatibilität - Gleiche mechanische Schnittstelle Hauptspezifikationen - Bidirektionale Wiederholgenauigkeit ±3 arcsec bei ±3 sigma - Positionsgenauigkeit - ±20arcsec (ohne Mapping) - ±6 arcsec (mit Mapping) - Drehzahl bis zu 1200min-1 Weitere Informationen sind im entsprechenden Integrationshandbuch enthalten.